MEMS致动器原理应用.pdfVIP

MEMS致动器 MEMS Actuators 清华大学 微米纳米技术研究中心 叶雄英 2012.10.22 微致动器定义 致动器定义： 通过电、光等信号直接或间接控制 机械结构，使之发生变形、移动或 防止变形的机构，称为致动器。 微致动器的功能： 驱动微型结构，产生变形、位移或 力输出； 平衡微型结构，防止变形或偏移 微致动器 Micro Actuator 致动方式： 微型致动器件： 静电致动 微型马达