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第卷第期影像科学与光化学年月论文双光子微纳加工技术结合化学镀工艺制备三维金属微弹簧结构贾雁鹏郑美玲董贤子赵震声段宣明中国科学院理化技术研究所北京中国科学院重庆绿色智能技术研究院重庆中国科学院大学北京摘要利用飞秒激光双光子微纳加工技术与化学镀工艺制备了三维金属微弹簧结构采用扫描电子显微镜及选区电子能谱对镀层进行了表征当化学镀时间为时所得到的镀层厚度约为对不同电镀时间下获得的镀层电阻率进行了测定实验结果表明当电镀时间为时得到的镀层电阻率约为仅为银块体材料电阻率的倍利用这种方法我们制备了总长度为周期为
第 卷 第 期 影 像 科 学 与光 化 学
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