化学气相沉积碳化硅平面反射镜的高精度超光滑加工-中国机械工程.pdf

化学气相沉积碳化硅平面反射镜的高精度超光滑加工———康念辉 李圣怡 郑子文等 暋 暋 化学气相沉积碳化硅 平面反射镜的高精度超光滑加工 康念辉 李圣怡 郑子文 戴一帆 暋 暋 暋 , , 国防科学技术大学 长沙 410073 : , “ 摘要 针对化学气相沉积碳化硅平面反射镜的材料特性与技术要求 制定了 传统研抛 离子束抛 + 暠 , 。 光 的工艺方法 并在一块口径为100mm的试件上进行了验证 首