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MV_RR_CNJ_0013 电子能谱仪方法通则 1. 电子能谱仪方法通则的说明 编号 JY/T 013—1996 名称 (中文) 电子能谱仪方法通则 (英文) General rules for electron spectroscopic analysis 归口单位 国家教育委员会 起草单位 国家教育委员会 主要起草人 黄惠忠 金永漱 批准日期 1997 年 1 月 22 日 实施日期 1997 年 4 月 1 日 替代规程号 无 适用范围 本通则规定了电子能谱的一般表面分析方法，适用于具有X射线光 电子能谱(XPS或ESCA) 、俄歇电子能谱(AES)和二次离子质谱(SIMS)功 能的电子能谱仪。 主要技术要求 1.定义 2.方法原理