先进表面工程技术课程.pptVIP

有待进一步研究的先进表面工程技术事例 低介电常数基片； 高热导率基片； 用途更广的新一代ZnO基透明导电膜； 新一代铁电存储器； 高耐热高绝缘高导热封装薄膜； 更高记录密度的薄膜磁头，其磁头起飞高度由25nm进一步降到15nm，需采用新的磁记录功能膜和磁记录、耐磨损两种功能一体化的磁记录功能膜材料； * 有待进一步研究的先进表面工程技术事例 涡轮轴发动机压气机钛合金叶轮抗沙尘冲蚀涂层； 高效率低成本薄膜太阳能电池； 柔性(全薄膜化)显示器； 燃气轮机叶片热障涂层； 光催化环境净化膜； 光催化太阳能分解水制氢； 高性能、高质量、高效率、低成本刻蚀技术和装备。 * 6 先进表面工程技术的发展前沿 * 6.1 离子镀高性能耐磨涂层 作为离子镀高性能耐磨涂层的一种类型，TiN系多层硬质膜正在向纳米多层膜发展，其中包括TiN／Ti(C，N)纳米多层膜；TiN／(Ti，A1)N纳米多层膜，TiN／CrN纳米多层膜，Ti／TiN纳米多层膜，Ti／Ti(C，N)纳米多层膜Ti／(Ti，Al)N纳米多层膜，Ti／CrN纳米多层膜。 另一种类型是碳系硬质膜及其复合涂层，包括DLC(或ta-C)膜、CNx膜、碳系多层复合涂层。 第三种类型则是TiN系膜与碳系硬质膜的杂化复合涂层。 * 涂层制备工艺 在涂层材料改进的同时，涂层制备工艺也取得了进展，其中较为突出的是，脉冲偏压在AlP上的采用，导致了PBAIP过程的远离平衡态特性，有利于提高涂层结合强度，降低内应力。但是，这方面的深入研究还有待今后的继续。 * 6.2 燃气轮机叶片先进防护涂层 现代燃气轮机效率取决于其工作温度，由于高温合金的使用温度已接近其使用温度极限，采用抗热腐蚀、热障涂层已成为提高燃气轮机工作温度的关键性措施，是否采用防护涂层，所用防护涂层的水平如何，也就成为评价现代燃气轮机设计水平的重要判据之一。 * 热障涂层 由粘结底层(通常为MCrAlY)和隔热表层(通常为ZrO2)构成。 热障层与底层的组成、结构和工艺，目前还在不断改进和更新换代中。 根据中国的现实情况，MCrAlY既用作热障涂层的粘结底层，更多是单独用作抗热腐蚀涂层。 * 立方氮化硼(c-BN)膜 立方氮化硼(c-BN)膜的优异特性与金刚石膜相近，加上还具有优异的耐腐蚀特性，其吸引力不逊于金刚石膜。尽管如此，其产业化还是长期未能成功。据了解，存在的主要问题是产物中的非c-BN成分含量过高，且难去除。 六方氮化硼(h-BN)也是一种性能优越的材料，虽然早已能够小批量生产，但其成本一直居高不下，影响了其广泛应用。 * 6.3 特种薄膜材料的合成 经过了80～90年代的努力，气相生长金刚石始终未能实现真正的产业化，其主要问题在于一直未能兼顾产品质量高、生产速率高和生产成本低的产业化基本要求。 类金刚石(DLC)膜，却因为人们在其氢含量、sp3键含量以及与薄膜性能关系等三方面进行了系统深入的研究，揭示了新苗头。 四方非晶碳(ta-Carbon)膜的研究有可能在不远的将来，在力学性能、功能特性、产业化等方面都取得新突破。 * SiC、 GaN、 AlN膜 SiC膜具有优越的高温电子学性能，90年代以来，SiC膜在硅片上的外延已成功，并实现了小批量生产，但价格十分昂贵，影响了其广泛应用。 GaN膜显示了性能上的优越性，但价格昂贵和毒性始终是其扩大应用的障碍。 AlN膜的禁带宽度高达6.2 eV，是良好的绝缘材料。通过掺杂及其它途径，可适当降低禁带宽度，便于制作器件，有很大的应用潜力，但目前尚未得到足够的重视。 * 6.4 微／纳信息功能薄膜、器件和线路 纳米多层信息功能膜、器件和线路是当前发展最迅速的前沿领域之一，其应用面十分广阔，包括处理器、显示器、存储器、传感器、线路板等。 低介电常数膜、高介电常数膜、低比辐射率膜、太阳光谱高比辐射率膜、光伏膜、存储膜、透明导电膜、敏感膜、发光膜等方面均取得了进展。 图形刻蚀技术、驱动电路、驱动软件、封装越来越普及。 * 6.5 远离平衡态镀膜技术 远离平衡态是这类工艺的共同的热力学特征。 其优点是高的能量密度与低的总功耗、低的沉积温度、低的内应力、良好的界面结合、有利于提高成品率，减少浪费。 * 7 结束语 在近年来先进表面工程技术发展中，采用远离平衡态镀膜技术、等离子体技术、激光技术、纳米技术等均取得了良好的应用效果，也证明了基础研究对于推动前沿和高技术领域发展的重要性。 先进表面工程技术的应用面越来越广，从人民生活到国民经济，从高新技术到传统产业，促进了节能、节材、降低成本、环保化、生态化、小型化、微型化、轻量化、便携化。 用先进表面工程技术，迅速大量形成了规模化的高新技术产业，对经济起了巨大的推动作用。 * 先进表面工程技术发展前沿概述 * 先进表面工