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三、石英玻璃概况 石英玻璃是玻璃态二氧化硅（SiO2）的总称。又称熔石英，人称“玻璃王” 。由各种天然石英（水晶、脉石英）和硅化物（四氯化硅、硅烷）熔制而成。按原料和制备工艺不同分为透明石英玻璃和不透明石英玻璃。 透明石英玻璃的SiO2含量为99.5％～99.999％，属于高纯材料，具有优良的透光性、耐蚀性和耐热性，其软化温度为1650℃，热稳定性为1100℃，折射率（Nd）1.4585。常用的透明石英玻璃有?：①?电熔石英玻璃?。羟基含量≤5／100万，金属杂质离子含量为20／100万～50／100万，具有良好的红外透过性，但光学均匀性较差。用于红外光学和强光源领域。②气炼石英玻璃。羟基含量为150／100万～300／100万，金属杂质离子含量为20／100万左右。主要用于制备半导体。?③人造石英玻璃。羟基含量为900／100万～1200／100万，金属杂质离子含量＜5／100万。由于其在160～1000纳米波区的透过率＞90％，并耐各科射线辐照，故多用于制作高均匀性光学部件、远紫外光学和耐射线辐照的航天光学部件 。 溶解在石英玻璃中的水称为羟基。羟基是石英玻璃中的主要杂质，影响羟基含量的主要因数是原料，工艺和加工方法。随着羟基含量增加，石英玻璃的粘度，密度，折射率减小，红外吸收，膨胀系数增加。 四、石英玻璃主要性能 石英玻璃是由二氧化硅单一组分组成的玻璃。这种玻璃硬度大