第13章 化学传感器.pptVIP

第13章 化学传感器 能将各种化学物质的特性（如气体、离子、电解质浓度、空气湿度等）的变化定性或定量地转换成电信号的传感器称作化学传感器。 由于化学物质种类繁多，因此化学传感器的种类和数量也很多，各种转换器件的转换原理也各不相同，并且由于转换机理相对比较复杂，因而化学传感器远不如物理传感器那样成熟和普及。但是，随着科学技术的发展，尤其是人类对环保的需要，人们对化学传感器的需求日益增多，化学传感器也就显得日益重要。因此，了解化学传感器是很有必要的。 本章主要介绍离子敏、气敏、湿敏和电化学传感器。 一、 离子敏传感器 （一） MOSFET场效应管的结构与特性 用半导体工艺制作的金属—氧化物—半导体场效应晶体管的典型结构如图13—1所示。 （二） 离子敏传感器的结构与工作原理 离子敏传感器由离子敏感膜和转换器两部分构成，敏感膜用以识别离子的种类和浓度，转换器则将敏感膜感知的信息转换为电信号。如图13—3所示。 如图13—4（a）所示为离子场效应管的结构示意图。MOSFET场效应管是利用金属栅上所加电压大小来控制漏源电流的；ISFET则是利用其对溶液中离子有选择作用而改变栅极电位，以此来控制漏源电流变化的。 （三） ISFET的特点和参数 ISFET具有以下特点： 1、ISFET具有MOSFET一样的输入阻抗高、输出阻抗低的特点。 2、ISFET是全固态化结构，因此具有体积小、重量