电容式加速度传感器课程设计1003030304.docVIP

随着科学技术的不断发展, 自动化智能化一步一步走入人们生活中的每一个 角落。然而自动化与智能化的实现无疑离不开传感器。传感器这个大家族之中, 电容式传感器又占有举足轻重的位置。电容器传感器的优点是结构简单 , 价格便 宜,灵敏度高,零磁滞,真空兼容,过载能力强,动态响应特性好和对高温、辐 射、 强振等恶劣条件的适应性强等。 缺点是输出有非线性, 寄生电容和分布电容 对灵敏度和测量精度的影响较大, 以及联接电路较复杂等。 本课程设计设计了一 种基于 MEMS 的电容式测量加速度的传感器。 基于微机电系统 ( MEMS 技术的微机械加速度传感器具有体积小、质量 轻、 启动快、 功耗低、 易集成、 可靠性好、 抗过载能力强和成本低廉等诸多优点, 在航空航天、 汽车技术机器人技术、 工业自动化、 掌上电子产品等诸多领域得到 了广泛的应用。 根据其敏感信号方式, 可以分为微型电容式速度传感器、 微型压 阻式加速度传感器、 微型压电式加速度、 感器和微型隧道电流式加速度传感器等。 关键词:电容 加速度 传感器 信号放大 微电子机械系统 第一章 绪论 ···············································3 1.1 课题研究的相关背景······························3 1.2 选题的目的和意义 ·················