一步湿法化学刻蚀硅微尖冷阴极.pdfVIP

20 1 Vol . 2 0 , o . 1 199 93 CHI ESEJOU R ALOFLUM I ESCE CE Mar. , 1999 一步湿法化学刻蚀硅微尖冷阴极* a) a) 王维彪　金长春　梁静秋 　姜锦秀　刘乃康　姚劲松 赵海峰　王永珍　范希武 ( , 130021) a) ( , 130022) . 111100 . 111 . , , 1015nm . , , 1　引　　言 . , , . : ( 1) ; (2) ; . . . (3)