常用传感器和敏感元件课件.ppt

将被测量转换为与之对应的，易检测、易传输或易处理信号的装置，称为传感器。直接受被测量作用的元件称为传感器的敏感元件。;按传感器工作原理的不同分：;按输出信号类型分： ; 需要指出的是，不同情况下，传感器可能只有一个，也可能有几个换能元件，也可能是一个小型装置。例如，电容式位移传感器是位移-电容变化的能量控制型传感器，可以直接测量位移。而电容式压力传感器，则经过压力-膜片弹性变形(位移)-电容变化的转换过程。此时膜片是一个由机械量-机械量的换能件，由它??现第一次变换；同时它又与另一极板构成电容器，用来完成第二次转换。再如电容型伺服式加速度计（也称力反馈式加速度计），实际上是一个具有闭环回路的小型测量系统。这种传感器较一般开环式传感器具有更高的精确度和稳定性。 ;表3-1汇总了机械工程中常用传感器的基本类型及其名称、被测量、性能指标等。 ;第二节 机械式传感器及仪器 ;a）测力计 b）压力计 c）温度计 ;a）测力计 b）压力计 c）温度计 ;1—工件 2—电磁铁 3—导槽 4—簧片开关 5—电极 6—惰性气体 7—簧片 ;第三节 电阻、电容与电感式传感器 ; 变阻器式传感器通过改变电位器触头位置，实现将位移转换为电阻的变化。其表达式为 ;▲非线性型;应用：用于线位移、角位移测量，在测量仪器中用于伺服记录仪器或电子电位差计等。 ;金属箔式应变片 ; ——是由电阻丝几何尺寸改变所引起的，对于同一种材料，项是常数。;一般市售电阻应变片的标准阻值有60Ω、120Ω、350Ω、600Ω和1000Ω等。其中以120Ω最为常用。应变片的尺寸可根据使用要求来选定。 ;工作原理:是基于半导体材料的压阻效应。;优点：灵敏度高，机械滞后小、横向效应小、体积小等特点。 ; 固态压阻式传感器是以单晶硅为基底材料，按一定晶向将P型杂质扩散到N型硅底层上，形成一层极薄的导电P型层。此P型层就相当于半导体应变片中的电阻条，连接引线后就构成了扩散型半导体应变片。由于基底(硅片)与敏感元件(导电层)互相渗透，结合紧密，所以基本上为一体。在生产时可以根据传感器结构形成制成各种形状，如圆形杯或长方形梁等。这时基底就是弹性元件，导电层就是敏感元件。当有机械力作用时，硅片产生应变，使导电层发生电阻变化。一般这种元件做成按一定晶向扩散、四个电阻组成的全桥形式，在外力作用下，电桥产生相应的不平??输出。 ;二、电容式传感器 ;a）极距变化 b）输出特性 ; 为了提高传感器的灵敏度、线性度以及克服某些外界条件(如电源电压、环境温度等)的变化对测量精确度的影响，常常采用差动式。 ;a）角位移型 b）平面线位移型 c）柱体线位移型 1—动板 2—定板;圆柱体线位移型 ;a）介质厚度、温度、湿度计 b）介质液位计 ;（1）电桥型电路 ;（3）谐振电路 ;三、电感式传感器 ;a）可变导磁面积型 b）差动型 c）单螺管线圈型 d）双螺管线圈差动型 ;a）电桥电路 b）输出特性 ;（2）涡流式 ;等效电路分析;由上式可看出：由于涡流效应的作用，线圈的阻抗由 变成了 ，比较Z0与Z可知：电涡流影响的结果使等效阻抗Z的实部增大，虚部减小。即等效品质因数Q值减小了，即涡电流会消耗电能，在导体中产生热量。; 涡流式传感器的测量电路分压式调幅电路及调频电路。传感器线圈和电容组成并联谐振回路，其谐振频率为 ;▲调频电路 ;应用：电涡流传感器通常可用来测量： ①位移、振幅； ②转速； ③表面裂纹、厚度； ④材料分选、表面不平度等，还可以进行零件计数。 ;a）径向振摆测量 b）轴心轨迹测量 c）转速测量 d）穿透式测厚 e）零件计数器 f）表面裂纹测量;2．互感型——差动变压器式电感传感器 ;传感器开路输出电压为两次级线圈感应电动势之差;优点：精确度高（最高分辨力可达0．1μm）、线性范围大（可扩展到±100mm）、稳定性好和使用方便。 ;第四节 磁电、压电与热电式传感器 ;a）线速度型 b）角速度型;测量电路 ;2．磁阻式 ;二、压电式传感器 ;2．压电材料 ;石英晶体切片 ;●当石英晶体切片受X向压力时，所产生的电荷量与作用力成正比，而与切片的几何尺寸无关。 ;●当沿着Y轴方向施加压力时，则仍在与X轴垂直的平面上产生电荷，产生的电荷量与切片的几何尺寸有关，且电荷的极性与沿电轴X方向施加压力时产生的电荷极性相反。 ;●当沿着Z轴方向施加压力时，由于晶体沿X轴和Y轴方向产生同样的变形，石英晶体不会产生压电效应，即d13=0。;压电陶瓷由许多铁电体的微晶组成，微晶再细分为电畴，因而压电陶瓷是许多畴形成的多畴晶体。当加上机械