* UNSW新南威尔士大学 * 5.4.1硅太阳能电池的制造技术丝网印刷太阳能电池 到了现代,上面所说的制造流程已经有了许多改变,既能获得更高的效率且成本又更低。有些技术还已经被运用到商业制造中,而其它的则也正在从实验室到生产线的过程中不断改进、提高。 磷扩散 丝网印刷太阳能电池通常使用简单且均匀的扩散方法以形成发射区,此区域的掺杂情况都是相同的。要保持低电极电阻,就需要在丝网印刷电极下面的表面掺杂进高浓度的磷。然而,表面高浓度的磷将会导致“死层”形成,并降低电池的蓝光响应。最新的电池设计能制备更浅的发射区,因此提高电池的蓝光响应。选择性发射区,即金属电极下面进行更高浓度的掺杂,也已经被研究者提出来了,但依然没有一项被运用到商业制造中。 表面制绒以减少反射 从单晶硅锭切割下来的晶片很容易通过制绒来减少表面反射,方法是使用化学试剂在晶片表面刻蚀层金字塔状原子结构。虽然这种刻蚀对单晶硅非常理 想,但是它却依赖于正确的晶体取向,所以对于多晶硅材料的随机取向界面来说,化学刻蚀的效果很有限。于是,人们又研究了许多不同的制绒多晶硅 * UNSW新南威尔士大学 * 5.4.1硅太阳能电池的制造技术丝网印刷太阳能电池 的方案: 使用切割工具或激光在晶片表面进行机械制绒 基于缺陷结构而不是晶面取向的各向同性化学刻蚀 各向同性化学刻蚀与光刻
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