Q_CY 002-2016硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范.pdf

Q/CY 贵州中科汉天下电子有限公司企业标准 QCY 002-2016 硅基MEMS制造技术体硅溶片工艺规范 2016-09-01发布 2016-09-10实施 贵州中科汉天下电子有限公司 发布 前 言 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担设别这些专利 的责任。 本标准由贵州中科汉天下电子有限公司提出。 本标准由贵州中科汉天下电子有限公司归口。 起草单位：贵州中科汉天下电子有限公司。 主要起草人：刘杰、张春燕、杨清华、赖亚明、陈庆、吴光胜、赖志国。