洁净室标准规格说明.docx

洁净室标准规格说明（一）目前世界各国虽冇H订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E和世界上其他各国Z所订标准再做更进-步Z介绍与相互比较。表M为美国联邦标准209DZ洁净室规格。 农1?1美国联邦标准209D洁净室规格 洁净室 级数 （Clas s） 微尘粒子 温度 粒子 大小 UJR 粒子数目 Particle s/ft3 jujtlA g 值域?c 推薦值?c 误差值?c 最大MAX% 最小恥N% 误差9 1 ^0. 5 w 1 ±2. 8 ±10 M5. 0 u 1U MO. 5 圭10 M5?0 u 特 特 100 5 圭100 1. 3 19. 25 M5?0 m 1 22. 2 殊 45 30 殊 1000 M0?5 圭 1000 M5?0 些10 需 需 10000 M0?5 w 10000 M5?0 圭65 求 求 100000 MO. 5 圭100000 M5?0 ^700 ±1.4 土 5 至于209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以“NT字头表示， 如Ml、M1.5、M2、M2.5、M3......依此类推,其目的在于配合国际公制单位之标准化。M字母后之阿拉伯 数目字是以每立方公尺中M0.5umZ微尘粒子数目字以10的幕次方表示，而取指数为Z;若微尘粒子数介 于前后二者完全幕次方Z间（即非整数，则以1.5、2.5、或3.5......等表示之。表1?2即为1992年9月新颁 布Z美国联邦标准209EZ内容，前述ZM字母后的数字,可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算 之。 表1-2美国联邦标准209E 洁净度等级 微尘粒手 0. lum 0. 2um 0. 31BTL 0. 5um 5um 单位 单位 单位 单位 单位 公制 英制 (m3) (ft s) (m3) (ft3) (ms) (ft3) (m3) (ft3) (m3： Ml 350 9.9 75.7 2. 14 30.9 0.875 10 0.283 Ml. 5 1 1240 35 265 7. 5 106 3 35. 3 1 M2 3500 99 757 21.4 309 8. 75 100 2.83 M2. 5 10 12400 350 2650 75 1060 30 353 10 M3 35000 991 7570 214 3090 87.5 1000 28.3 M3. 5 100 — — 26500 750 10600 300 3530 100 M4 75700 2140 30900 875 10000 283 M4?5 1000 35300 1000 241 M5 100000 2830 61E M5. 5 10000 353000 10000 247 M6 1000000 28300 618 M6. 5 1E+05 3530000 100000 247C M7283000 618C 美国联邦标准FS 209D都以英制每立方英尺为单位，而日木则是采川公制，即以毎立方公尺为单位；另 外209D与日本JIS (B9920-1989)标准中另一不同点为209D是以0.5um之粒子数为计数基准,而日本则 以O.lum微粒子为计数标准。日本标准之表示法是以Classl,Class2,Class3,......Class8表示,即最好之等级为 Classi,最差则为Class表1-3为日本JIS(9920-1989)±标准规定的粒子上限数(个/m3)。其Classi,Class2... Z数目字以o.lum粒子为基准，而以每立方公尺中微尘粒子总数屮化为1() 次方，取其指数而得。 表1?3日木JIS (9920?1989)标准 粒径\级数 Classi Class2 Class3 Class4 ClassB Class6 Class7 Class8 0. 1 IO1 102 10s 山 105 106 107 108 0.2 2 24 236 2, 360 23, 600 — — — 0.3 1 10 101 1, 010 10, 100 10b 000 1, 010, 000 10, 100, 00( 0.5 — — 35 350 3, 500 35, 000 350, 000 3, 500, 000 5. 0 — — — — 29 290 2, 900 29, 000 洁净室标准规格说明(二) 在德国工业及医学等Z多数领域屮，洁净室是为相关产业界所重视和期望发展Z技术，因此在1967年 完成了徳国的洁净室规格，在徳国规格中洁净室等级之农示法与美国规格不同，其农示法是以4*10的形 式表示粒径0.5um以上之粒子数，而以其中之指数n规定等级