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MFCMFC原理結構說明原理結構說明 捷胤工業有限公司 總合研究所 (JISC) 捷胤工業有限公司捷胤工業有限公司 NEW JEIN CorpNEW JEIN Corp.. MFC簡介 •質流控制器（ Mass Flow Controller ）簡稱MFC 。簡 易的詮釋 MFC是一種流量與控制閥組的精密組機 電組合，其測量方式與一般流量計最大的差別， 是在於它是利用熱感溫差是在於它是利用熱感溫差 、非接觸方式測量氣體非接觸方式測量氣體 之質量流速。 • MFC應用於I C 工業、真空工業、食品工業、化 學工業以及醫療儀器等行業，需要求高精確度、 高穩定度及高品質等氣體流量控制，如：蝕刻、 物理物理、化學氣相沉積化學氣相沉積 、高穩定度來達成高穩定度來達成 ，其應用其應用 之層面乃遍佈高科技產業。