和微系统概述.pptxVIP

MEMS和微系统概述;目录; 一尺之锤，日取其半，万事不绝。 ——庄子：天下篇 （公元前571年至公元前471年之间）;发生在20世纪90年代的故事;发生在20世纪90年代的故事;发生在20世纪90年代的故事; 一、MEMS的定义及组成; 一、MEMS的定义及组成; 小型(mini-) 机械(1mm~10mm) 微型(micro-)机械(1μm~1mm) 纳米(nano-) 机械(1nm~1μm);三、MEMS 组成;4.MEMS的组成;二、微机电发展史;;;; 90年代初，ADI的气囊加速度计实现产业化。;三、MEMS的特点; 主要材料：硅 优 点：强度、硬度、杨氏模量：与铁相当 密度：近似铝 热传导率：接近钼和钨; 用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS。批量生产可大大降低生产成本。; 不同功能、敏感方向、致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，形成复杂的微系统。; MEMS涉及电子、机械、材料、制造、通讯和自动控制、物理、化学 和生物等多种学科。;四、典型MEMS器件及应用;四、典型MEMS器件及应用; 图正前方毛毛嘈嘈的东西是一粒灰尘，其后方是一个微机械部件，只有几个微米！;美国Sandia实验室制作的微驱动系统与一只昆虫触须的对比图;超声微马达;远比蚂蚁还小的微涡轮;;Mirror;七、MEMS的应用;应用之一：计算机方面应用;;MEMS技术的里程碑――CMOS片上麦克风这一CMOS器件在体积、成本和性能参数上都有改进，这种表面装配插件的尺寸是4*4*1.8毫米。 ; 喷墨打印机 惠普公司在1978年首先发明了基于硅微机械加工技术的喷墨打印机喷嘴。;应用之二：汽车上的应用;汽车未来的发展方向是智能汽车;ST三轴线性MEMS加速计 提高超薄设计的产品性能 ;MEMS在医学领域中的应用主要集中以下几个方面：; 药物注射微针头阵列; 未来的战争是电子信息战，其重要特征之一就是窃取和反窃取情报。坦克、大炮等有可能退出历史舞台。微纳米传感器也可打扮成树叶、草杆、蚂蚁、苍蝇等，用空投等方法将其投入到所需预定地方，构成一个分布式传感器网络，用以收集情报。;微飞行器;欧洲研制微型机器人试图控制敌方雷达; MEMS技术生产出来的机器人非常精小，其长度，宽度和高度都小于4毫米。该机器人采用太阳能电池的顶部，并拥有三个机械触手，以及一个触摸传感器触手。研究人员解释说，一个单一的微型机器人本身是一个简单的个体，但是相互之间能够利用红外线传感器与环境互动，形成群体，清理污染物或修复机器内部故障时非常有效。;参考书