波纹管和隔膜密封式多孔口阀角阀和单体阀组选择指引.pdf

波纹管和隔膜密封式多孔口阀、 角阀和单体阀组 选型指南 ALD 、BN 、DF、DL /DS 、DP 和 HB 系列 ■ 从单个产品目录选择一种阀门类型。 ■ 遵照此说明为满足您的系统要求的多孔口阀、角阀或单体阀组创建一个阀门订购号码。 ■ 参阅产品目录了解构造材料、额定压力温度、选购件和附件。 2 波纹管和隔膜密封式多孔口阀、角阀和单体阀组 波纹管和隔膜密封式多孔口和角阀和单体阀组 ® 世伟洛克 多孔口和角阀和单体阀组具有多种配置选项，可满足您的系统要求。 请参阅世伟洛克产品目录，了解构造材料、技术数据和额定压力温度。 ■ 波纹管密封阀—BN 系列 MS-01-94 ■ 高性能无弹簧隔膜阀—DP 系列，MS-01-165 ■ 高压、气动波纹管密封阀—HB 系列， MS-01-76 ■ 高流量无弹簧隔膜阀—DF 系列，MS-02-24 ■ 用于原子层沉积的隔膜阀—原子层沉积 (ALD) 隔膜阀， MS-02-301 ■ 隔膜阀—DL 和 DS 系列，MS-01-73 工艺规范 欲了解关于工艺、工艺控制和工艺验证的更多信息，请参考世伟洛克超高纯工艺规范 (SC-01) ，MS-06-61 ；世伟洛克光伏工艺规范 (SC-06) ，MS-06-64 ；和世伟洛克特殊清洁和包装规范 (SC- 11)，MS-06-63。 请参考订购信息 （第 6 、10 和 11 页）了解每个阀门系列和配置的工艺可用性。 与介质接触表面粗糙度 (R ) 测试 a ALD 、DF DL / DS BN 和 HB ALD 、DF、DL / DS BN 和 HB 清洁 装配和包装 工艺规范 工艺代号 和 DP 系列 系列 系列 和 DP 系列 系列 20 µin. 20 µin. (0.51 µm) (0.51 µm) 无 — 使用非臭氧 平均值， 平均值， ALD3 常闭，DF 和 DP 损耗化学品 阀门在特殊 特殊清洁和 机加工 机加工 系列：对阀座、外壳和 进行特殊 清洁区单独 包装规范 电抛光并精加工 所有密封处进行向内氦 清洁 包装 (SC11) 至平均 气泄漏测试，泄漏率为 –9 3 P1 — — 1 × 10 std cm