行标《热喷涂用氧化钇粉末》送审稿编制说明.docx

PAGE PAGE 5 行业标准《热喷涂用氧化钇粉末》（送审审定稿）编制说明 工作简况 1.1 任务背景 氧化钇（Y2O3）是一种重要的稀土氧化物，具有稀土元素独特的4fr5dx6l2电子层结构、高电价、大半径、极化力强、电子能级和谱线的多样性、化学性质活泼等优良特性，使得Y2O3有着广阔的应用前景。同时，由于氧化钇具有良好的抗高能等离子冲蚀性能、高温稳定性能以及恶劣环境下的耐热性能等，可用作抗冲蚀涂层材料、高温隔热涂层材料等。近年来，12英寸数字集成电路芯片生产线已成为主流加工技术，90纳米、65纳米工艺技术得到大规模应用，45纳米技术也逐步步入商业化。随着集成电路12英寸、18英寸技术时代的到来，与等离子接触的铝合金、石英、陶瓷等零部件被轰击冲蚀而产生的颗粒污染问题成为刻蚀机关键零部件制备必须解决的关键问题，在高功率的工作条件下，CF4、SF6、O2、Cl2、HBr等腐蚀气体及等离子体会对零件表面产生强腐蚀作用。高密度等离子体冲蚀条件下的耐腐蚀已成为一个关键问题，因为从设备表面释放的颗粒会在晶片上产生缺陷，这种缺陷会导致晶片报废。传统的防护方法是采用铝阳极氧化涂层，但这种的涂层的抗冲蚀性能难以满足使用要求。由于氧化钇具有良好的抗高能等离子冲蚀性能，是目前应用最广的耐等离子冲蚀材料。随着热喷涂氧化钇粉末研制成功，氧化钇粉末广泛用于集成电路芯片制造设备零部件抗等离子冲蚀涂层制备，逐渐替代铝阳极氧化涂层。如在芯片刻蚀机腔体内壁表面喷涂一层0.15mm厚的氧化钇涂层，可有效避免腔体基材对硅片刻蚀的污染，同时刻蚀机的大修寿命可由15天延长到6个月。同时由于氧化钇具有良好的高温稳定性能以及恶劣环境下的耐热性能等，可用作高温隔热涂层材料，如用于硬质合金工业中石墨层的保护等。 同时该类产品作为重要装备或零部件的表面强化和修复用涂层材料，可实现延长零部件使用寿命和零部件再利用，达到节省能源和资源的目的，属绿色再制造高性能涂层材料。目前该类粉末产品在供货和产品验收时均依据各自的企业标准或产品技术条件，在产品的制备方法、技术指标、质量控制要求、验收方法等方面没有统一的规范和标准，给供需双方在生产、贸易过程中带来许多不便。 因此，随着该产品的不断发展，为了指导该类粉末材料的生产，保证产品质量，规范供需双方贸易过程，大力推广该产品在各行业中的应用，引领相关行业的技术创新和技术进步，制定该产品的行业标准显得日益迫切并具有重要意义。 1.2 任务来源 根据“国家标准化管理委员会关于下达第四批推荐性国家标准计划的通知”（国标委发函2018[83]号），北京矿冶科技集团有限公司提出《热喷涂用氧化钇粉末》标准项目计划的申请。同时根据“工业信息化部办公厅关于印发2018年第四批行业标准制修订计划的通知”（工信厅科[2018]73号），《热喷涂用氧化钇粉末》行业标准计划正式下达，计划号为2018-2083T-XB，完成年限2019年，由北京矿冶科技集团有限公司牵头起草。2019年1月23日至24日于浙江省宁波市召开“《钪稳定铈锆复合粉》等11项稀土国家、行业标准任务落实会”，会上确定了项目参与单位，并确定了《热喷涂氧化钇粉末》标准时间安排，确定北矿新材科技有限公司、赣州有色冶金研究所、包头稀土研究院、赣州湛海新材料科技有限公司、广东省材料与加工研究所、中国有色桂林矿产地质研究院有限公司、有研稀土新材料股份有限公司、虔东稀土集团股份有限公司为报名单位。 1.3 标准项目编制工作组单位简况 北京矿冶科技集团有限公司通过承担科技部国际合作项目“极大规模集成电路刻蚀机用高纯氧化钇涂层联合研发”、科技部院所专项“抗等离子冲蚀关键涂层材料和涂层研制”等重大课题，在氧化钇抗高能等离子冲蚀涂层材料研制方向，已投入研制经费1000余万元，投入研发设备购置费用600余万元，形成了具有粉末制备、检测、涂层加工、测试能力的实验室，并已取得一定的研究成果。经过多年发展，已建成喷涂材料研发基地，形成了百吨级陶瓷、复合、金属合金型涂层材料中试线和涂层制备中试线。 北京矿冶科技集团有限公司非常重视科研成果的转化，至2018年底已分别建成总产500吨陶瓷、复合、金属合金型涂层材料和粉体材料生产线，年产5000平方米的涂层制备的生产线。在陶瓷材料的研制方面，矿冶集团具有扎实的前期研究工作基础。在此基础上，矿冶集团不断创新，开发出高纯氧化锆、氧化钇、氧化铝等系列涂层材料。在耐磨、耐蚀涂层材料方面，拥有氧化铝系、氧化铬系、氧化钇系等20多个品种。在氧化物陶瓷涂层材料及涂层研制方面积累了大量的实践经验。 北京矿冶科技集团有限公司拥有一支素质高、人才结构合理的科技队伍和一批国内外知名的专家。全集团现有职工3246人，其中中国工程院院士3人，教授级高级工程师190人，高级工程师164人，工