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瑞利型声板波的液体传感研究———阮 鹏 陈智军 张亦居等
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瑞利型声板波的液体传感研究
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阮 鹏 陈智军 张亦居 王萌阳 蒋 玲
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1.南京航空航天大学 南京 210016暋2.南京大学近代声学教育部重点实验室 南京 210093
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摘要 以瑞利型声板波为例 在有限元软件 COMSOL中建立了声板波二维模型 仿真分析了声板
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波在自由空间中和负载液体时的特征频率 仿真研究表明 无论基片背面为自由边界还是金属边界 负
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载液体时都会导致声板波 和 模态特征频率发生变化 从而可用于液体的特征参数检测 由于
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模态负载液体时会产生一定的衰减 因此声板波的 模态比 模态更适于液体传感 实际制作了两
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组声板波器件 采用网络分析仪测量了器件的幅频特性 实验结果与数值仿真结果基本一致 证明了理
论模型的正确性和数值仿真的有效性。
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关键词 声板波 模态 特征频率 边界条件
中图分类号: : /
TN65暋暋暋暋暋暋DOI10.3969 .issn.1004-132X.2013.22.018
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ResearchonLiuidSensin ofRaleihAcousticPlateModeWave
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RuanPen 暋ChenZhiun 暋Zhan Yiu暋Wan Men an 暋Jian Lin
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1.Nanin UniversitofAeronauticsandAstronauticsNanin 210016
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