结构光照明并行物方差动快速测量方法研究.pdfVIP

第３８卷　第１２期 仪 器 仪 表 学 报 Ｖｏｌ３８Ｎｏ１２ ２０１７年１２月 ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔ Ｄｅｃ．２０１７ 结构光照明并行物方差动快速测量方法研究 １，２ １ ３ １ １ 刘志群 ，易定容 ，孔令华 ，王文琪 ，刘　婷 （１．华侨大学机电及自动化学院　厦门　３６１０２１；２．闽江学院物理学与电子信息工程系　福州　３５０１０８； ３．福建工程学院机械与汽车工程学院　福州　３５０１１８） 摘　要：激光扫描差动共聚焦显微测量方法具有纳米量级的轴向测量精度，然而信号在离焦位置获取，横向分辨率较低，而且使 用激光逐点扫描方式，测量速度慢；基于空间光相位调制的结构光照明显微成像方法，可以实现超分辨率成像，但不具