太阳能电池制造工艺工艺流程以及工序简介.pptxVIP

太阳能电池制造工艺——工艺流程以及工序简介1.前言硅太阳能电池的结构及其工作原理：其主要是利用硅半导体p-n结的光生伏打效应。即当太阳光照射p-n结时，便产生了电子-空穴对，并在内建电场的作用下，电子驱向n型区，空穴驱向p型区，从而使n区有过剩的电子，p区有过剩的空穴，于是在p-n结的附近形成了与内建电场方向相反的光生电场。在n区与p区间产生了电动势。当接通外电路时便有了电流输出。磷扩散层单晶硅太阳电池多晶硅太阳电池非晶硅太阳电池2. 硅太阳电池的制造工艺流程下面我们就硅太阳电池的制造工艺流程以及各工序进行简单的介绍。晶体硅太阳能电池制造的常规工艺流程主要包括：硅片清洗、绒面制备、扩散制结、（等离子周边刻蚀）、去PSG(磷硅玻璃) 、PECVD 减反射膜制备、电极(背面电极、铝背场和正电极) 印刷及烘干、烧结、Laser和分选测试等。同时,在各工序之间还有检测项目,主要有抽样检测制绒效果、抽样 测方块电阻、抽样测氮化硅减反射膜厚度和折射率等项目。捷佳创单晶制绒测试分选工序PECVD 工序Laser 工序RENA多晶制绒烧结 工序扩 散 工序制绒清洗工序成品硅太阳能电池1）、硅太阳能电池的制造工艺流程：丝网印刷 工序去除磷硅玻璃PSG1.原料硅片清洗制绒4.沉积减反射膜（PECVD）5.丝网印刷背电极7.丝网印刷背电场2.高温扩散（液态扩散）8.烘 干12.测试分选9.丝网印刷正电极