透射电镜系统解析与常维护.pptVIP

* * 7). 卡片处理总结 卡片问题如果多次发生，必须检查原因，如发片盒中底片夹是否安装准确，及其底部弹簧是否弹起。 在以上的介绍中，大家都注意到微动开关。其实我们可以在取出卡片、收发片盒后，按住微动开关触头使驱动工作行程杆运动。当到行程圆盘时，由于圆盘压住触头所以必须立即把手离开（以免压手）。行程装置继续运动且系统恢复到正常位置。以上这个过程其实就是发片、收片的过程，通过它我们可以验证处理完卡片后系统是否恢复正常。 * 故障解析总结 透射电镜是作为一种高精密仪器，以上只举了一小部分故障解析，其实我们应该做到具体问题具体分析。以下提供一个处理故障的流程： 现象判断 现象分析 处理现象 工程师指导 * 第三篇. 透射电镜日常维护 * 1. 机械泵(RP)维护 注意观察机械泵油量，及油的颜色。－－－油量应在油量检查口玻璃窗中间有个白点的附近，油的颜色应为透明或黄色 * 观察机械泵是否漏油，通过观察如下的漏油观察口。如果漏油，需要更换油封。 * 观察机械泵噪音（主要是皮带运行的时间长，表面磨损产生摩擦声音），可在皮带上加点消音剂，建议使用固体石蜡。或者更换皮带。 拆下左图所示的六个螺丝 就可看到皮带 * 机械泵皮带更换参见如下文件 双击图标进入文档 * 2. 扩散泵(DP)维护 其实对于扩散泵(DP)除了更换加热器（消耗品），其它的没有什么要维护 扩散泵油稳定性很好,其寿命很长。 扩散泵加热器更换： * 3. 离子泵(SIP)维护 由于离子泵固有的特性，我们应该定期对其维护。所以为了维持离子泵抽速和寿命必须定期对其进行烘烤（基本以真空度下降，抽速慢为基准）。 保持实验室的湿度（低于50％），离子泵对湿度特别敏感，湿度大时真空度明显下降（大家仔细观察冬天时真空度很好，一到夏天真空度就下降） 可根据工程师培训烘烤程序进行烘烤，烘烤基本上是COLUMN和SIP一起烘烤，且把LENS的循环水关掉（否则COLUMN就白烤了），烘烤时间大于2天。 * 4. 空压机维护 观察空压机启动情况。如果十几分钟就启动，说明某个地方有明显的漏气，可能都能听到漏气的声音。简单的方法：把右图的隔离阀关紧，并观察主机和空压机的压力表变化来判断。 空压机定期放水。如右图所示，拧开放水口处的阀就可放水，如果水比较多，可把空压机往放水口处稍微倾斜以便把低于放水口处的水往外放。（放完水应把放水阀拧紧） * JEM-2010(3010)/2010F主机处放水 * JEM-2100/2100F空压机放水及主机处放水 * JEM-2010(3010)/2010F空压机油量检查 JEM-2100/2100F的空压机使用无油压缩泵，所以不必注意检查油量 * 5. 循环水(CHILLER)维护 定期观察水的清洁度，和水量。做到水脏换水，水少补水。 为了防止水生霉菌（主要发生在较潮湿气候地方），建议往水里加乙醇。 观察散热片的清洁度，用吸尘器清洁。 保持循环水环境的温度在28℃以内（对于室内机），以保证散热良好。建议在房间里装一台柜机空调和一台挂机空调，两台空调交换使用。 * 循环水重要位置说明： 返回 * 6. 高压系统维护 每天注意观察高压的暗电流（具体数据参见参数表“INSPECTION CERTIFICATE”） 每周观察灯丝像，以及亮度。如果在发射量正常情况下，亮度不够，应进行如下调整或调灯丝对中 1）首先把确认物镜光栏，选区光栏OPEN，聚光镜光栏放在1号位置，TEM1-3，X100K模式下。 2）把电子束缩小（小于大荧光屏既可，小荧光屏撤开），调整GUN Tilt x,y使monitor上的Current Density值为最大。 当加上灯丝加热电流时，如果发射量很小或没有发射，调整BIAS，使得到足够的发射量。 * 当BIAS升到最大时（灯丝加热电流打开且在限定位置），电子束没有发射出来。说明灯丝断了，需要进行灯丝的更换。 定期观察高压箱，及电子枪的SF6气体的压力（2010，2100高压箱的气体压力不低于0.005MPa,电子枪气体压力不低于0.28MPa） 当SF6气体压力低于最低压力时，应及时补气，以防止高压放电击穿绝缘部件。充气时应注意：如果原始的气用完并更换新气时，应把原始的气换干净才能加新的气体。 * SF6气体的补充 1）关掉高压。 2）调整气瓶处的减压阀出口压力，使出口压力与待加容器的气体压力相同。 3）清洁充气口。（高压箱充气口在高压箱下端） * 4）把充气嘴斜顶着充气口（见下图），这样充气嘴出气把充气口的管道里空气冲走以保证气体纯度。然后把充气嘴插入。 5）慢慢加大减压阀出口压力，使待加容器的压力到指定的值（电子枪处压力为0.32MPa，高压箱处的压力为0.012MPa） * 7. 样品杆维护 每天注意