压电超精密定位台的动态迟滞建模研究.pdfVIP

第３８卷　第１０期 仪 器 仪 表 学 报 Ｖｏｌ３８Ｎｏ１０ ２０１７年１０月 ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｃｉｅｎｔｉｆｉｃＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔ Ｏｃｔ．２０１７ 压电超精密定位台的动态迟滞建模研究 杨晓京，李庭树，刘　浩 （昆明理工大学机电工程学院　昆明　６５０５００） 摘　要：为了提高压电超精密定位台的建模精度，采用ＢａｃｋｌａｓｈＬｉｋｅ迟滞非线性模型来描述压电超精密定位台的迟滞特性，采 用基于遗传因子的递推最小二乘法来辨识ＢａｃｋｌａｓｈＬｉｋｅ模型的参数，并结合压电超精密定位台的动态特性，建立了压电超精密 定位台的二阶动态迟滞模型。通过实验得到，对比ＢａｃｋｌａｓｈＬｉｋｅ模型，动态迟滞模型在频率为３０和４０Ｈｚ时，最大输出位移误 差由１．２１和１．３９ ｍ下降到０．３２和０．４４ ｍ，且最大相对误差分别仅为３．５％和４．４％，平均位移误差由０．５３和０．