真空技术讲座.pptVIP

电子束焊机的真空系统 1643年托里拆利(E. Torricelli) 发现了真空现象 如今真空技术已经成为一门独立的前沿学科 基本内容：真空物理、真空的获得、真空的测量和检漏、真空系统的设计和计算等。 随着表面科学、空间科学、高能粒子加速器、微电子学、薄膜技术、冶金工业以及材料学等尖端科技的发展，真空技术在近代尖端科学技术中的地位越来越重要。 十九世纪初，利用低真空产生压力差的原理发明了真空提升、真空输送、吸尘、过滤、成形等技术。 1879年爱迪生发明白炽灯，抽出灯泡中化学成份活泼的气体(氧、水蒸汽等)，防止灯丝在高温下氧化 同年，克鲁克斯发明阴极射线管，第一次利用真空下气体分子平均自由程增大的物理特性．后来，在电子管、电视管、加速器、电子显微镜、镀膜、蒸馏等方面也都应用了这一特性． 1893年发明杜瓦瓶，这是真空绝热的首次应用． 二十世纪初，在真空获得和测量的设备方面取得进展，如旋转式机械泵，皮氏真空计，扩散泵，热阴极电离真空计等 接着，油扩散泵，冷阴极电离真空计的出现使高真空的获得及测量取得一大进展． 五十年代，真空技术进入超高真空时代，发明了B-A规，离子泵，涡轮分子泵 近二十年来，高能加速器，受控热核反应装置、空间技术，表面物理，超导技术等，对真空技术提出了更新，更高的要求，使真空技术在超高真空甚至极高真空方面迅速发展 一 、基本概念及相关术语 “真空”这一术语译