原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ,
26 5 Vol.26 No.5
年 月 ,
2014 5 HIGH POWERLASERANDPARTICLEBEAMS Ma 2014
y
一种大入射角容差宽带薄膜偏振器*
, , ,
12 12 12
刘永利 , 张锦龙 , 王占山
( ( ), ; , )
1.先进微结构材料教育部重点实验室 同济大学 上海 200092 2.同济大学 精密光学工程技术研究所 上海 200092
: , 。
摘 要 通过组合长波通和短波通膜堆的方法 设计并制备了一种大入射角容差宽带薄膜偏振器 该薄
/ , , 。
膜为 HfO SiO 结构 采用无离子束辅助的电子束蒸发工艺 蒸发金属铪和 SiO 制得 对该膜的透射率光
2 2 2
、 , ,
谱 激光损伤阈值和形貌进行了研究 结果显示其不仅在 1044~1084nm波段内都具有很高的对比度 而且在
、 ,
波长 的入射角范围内具有很大的消光比和激光损伤阈值 且损伤特性基本不随入射角变
1064nm 53°~60°
2
。 / , ;
化 该偏振器的 光损伤阈值约为 损伤主要由基板与薄膜界面处的纳米级缺陷所引起 光损伤阈
P 20Jcm S
2
/ , 。
值约为 45Jcm 损伤主要由激光辐照下薄膜表面的等离子烧蚀现象引起
: ; ; ; ;
关键词 薄膜偏振器 入射角 电子束蒸发 激光损伤阈值 损伤形貌
中图分类号: 文献标志码: : /
TN247 A doi10.11884HPLPB201426.052003
文档评论（0）