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第十四章 其它显微分析方法简介 本章简要介绍几种表面分析仪器和技术: （1）离子探针分析仪(IMA)或二次离子质谱仪(SIMS)；（2）低能电子衍射(LEED)；（3）俄歇电子能谱仪(AES)；（4）场离子显微镜(FIM)和原子探针(Atom Probe)；（5）X射线光电子能谱仪(XPS)；（6）扫描隧道显微镜(STM)与原子力显微镜(AFM)。 可提供：表面几个原子层的化学成分（如：SIMS，AES）；表面层的晶体结构（如LEED）；或在原子分辨基础上显示表面的原子排列情况乃至鉴别单个原子的元素类别，如：场离子显微镜（FIM）和原子探针（Atom Probe）。电子探针仪优缺点表面微区成分分析：常用的主要工具仍是电子探针仪。优点：（1）定量分析的精度较高；对Z10、浓度10％wt的元素，其误差在±5％内。（2）无损：可重复分析。缺点：（1）高能电子束对样品的穿透深度和侧向扩展较大，一般达μm级，难以满足薄层表面分析要求。（2）对Z≤11的轻元素分析困难，因其荧光产额低，特征X射线光子能量小，使其检测灵敏度和定量精度都较差。第一节离 子 探 针 离子探针仪的基本原理离子探针仪的基本原理：利用电子光学方法，把能量为10～20KeV惰性气体等初级离子加速并聚焦成细小的高能离子束轰击固体样品表面，使之激发和溅射出正、负二次离子，采用质谱仪对二次离子按质荷比分开，并用探测器测量记录