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* 保密 单晶SPC推进状态及意义 * 控制对象:单晶锭直径 目标:单晶棒理论实际重量比控制在大于96% 单位mm 理论直径 153 工艺要求 155±2 最小直径 151 最大直径 165 目前状况: HH平均直径:156.3mm * 最理想的状态:154 ± 1mm 目的: 1,提高硅料利用率,降低成本; 2,提高产量,提高收率; 3,有利于单晶生长的稳定性 平均直径 理论/实际重量比 对收率贡献 156 96.19% 155 97.44% 0.7% 154 98.71% 1.4% 153 100% 2.1% 设备的控制能力:±1mm 1,没有失控; 2,头部50mm不计。 * 困难: 1,SPC理论知识、意识的缺乏,需要培训; 2,硬件的缺乏; 关键 炉长交接记录中记录上炉直径情况,也是一种SPC思想。
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