光学薄膜的自动设计.pdfVIP

m ω N V dM 14vd 9d o- 第1 卷第3 期 光屿，吗报 y-- 于于 10C 1981 年5 月 AσlA OPTICA SJNICA a 光学薄膜的自动设计 范正修钱伟珍 (中国科学院上海光学精密机械研究所〉 提要 运用负埠光片的组合.对具有复杂光谱曲线的光学溥膜进行自动合成.为了克服个别负~光片之间 的多次反射形成的光谱曲线崎变，在负捷;光片中间插入若干匹配层，井用统计试验方陆选取醺层参数。最后 用阻尼最小二乘注对全部或部分腰层的厚度进行精确化，使设计曲线达到予期结果。作为例子结出彩色电 视摄影机的W分光膜，可且区三角形埠光片宽带中性分光膜和宽带反射膜的设计结果. 号| 薄膜设计的基本任务在于确定薄膜的层数、各层膜的厚度和膜层的折射率使之具有特 定的光谱特性。由于薄膜的光谱性质是薄膜参数的多元非线性函数，所以F 在使用电子计算 机之前，除了极简单的情形之外且对薄膜的光学性质进行特定设计凡乎是不可能的。电子 计算机的引入，促进了薄膜自动设计的发展p 从而建立了各种各样的设计方法b山。 薄膜自动设计中最常见的方法是优化法口110 它的特点是首先建立起能够反映光学薄 膜性质优劣的评价函数，然后求出评价函数的极小值3 由此解出满足评价函数极小的薄膜参 数。这种方法的优点在于简单易行p 而且各种各样的优化方法经前人大量工作p 已经比较成 熟。然而，光学薄膜的光谱性质是薄膜参数的多峰值函数。这样，由一般优化方法求得的极 值点往往是局部极值。它的性质的优劣，直接依赖于薄膜初始函数的选取。为了克服这一 缺点，郑权提出了基于随机技点基础上的统计试验法。采用统计试验法原则上可以求出总 极值。这样p 在大多数情况下3 可以较有效地对光学薄膜进行自动设计。但是，这种方法毕 竟是在一定概率下求解。当光谱曲线比较复杂、被区较宽、薄膜参数又比较多的情况下p 能 找到总极值的几率很小;同时p 在搜查过程中2 每个参数都不重复地随机变化，这就有可能丢 掉一些好的结果.所以，对于较复杂的课题F 这种方法是难以凑效的。 我们的设计是建立在负滤光片组合的基础上的。为了克服工作中负滤光片之间的多次 反射造成的困难[2] 我们在负滤光片间加入匹配层p 并用统计试验法初步定出匹配层的参 数，由负撞光片加匹配层构成合成膜系的初始结构，最后，用阻尼最小二乘法完成膜系的全 部设计工作D 下面，我们介绍一下设计程序的基本方法和几个典型的设计结果，并对结果进行讨论， 一、负滤光片的选择 所谓负滤光片就是除了特定的光谱范围外，其他光谱区透过率均为 1 的光学薄膜。这 收稿日期 1980 年8 月 7 日 274 ;L. 1 卷