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硅料特性培训 硅料简介 硅：化学元素一种，化学符号Si，旧称矽（因矽和锡同音，于1953年改称硅）原子序数14，相对原子质量28.09，密度2.4g／cm3，熔点1423℃，沸点2355℃，晶体硅属原子晶体，坚硬而有光泽，具半导体性质，同素异形体有无定形硅和结晶硅，无定形硅为黑色，晶体硅为钢灰色。属元素周期上IVA族类金属元素，用于制作半导体器件和集成电路；以合金形式(如硅铁合金)用于汽车和机械配件；也与陶瓷材料一起用于金属陶瓷中；还可用于制造玻璃、混凝土、砖、耐火材料、硅氧烷、硅烷等； 硅 (Si) 材 料 现 在 是 电 子 工 业 中 最 重 要 的 半 导 体 材 料，因 此VLSI （超大规模集成电路）技 术 几 乎 完 全 以 硅 材 料 为 基 础。silicon这 名称 来 源 于 拉 丁 语 silex 或silicis，意 思是 燧 石。 地 壳 中 硅含 量 丰 富,仅 次 于 氧， 达25.7%。 改良西门子法制备多晶硅 在西门子法工艺基础上，增加还原尾气干法回收系统、SiCl4氢化工艺，实现了闭路循环，形成当今广泛应用的改良西门子法。该方法通过采用大型还原炉，降低了单位产品的能耗；采用SiCl4氢化和尾气干法回收工艺，明显降低了原辅材料的消耗，所生产的多晶硅占当今世界生产总量的70~80%。 大家知道，固体分为晶体和非晶体，而晶体又可以分为单晶体和多