05 物位测量及电容传感器.pptVIP

5.6.1 结构与原理 变面积型电容传感器(旋转) 当θ=0时 当θ≠0时 传感器电容量C与角位移θ间呈线性关系 5.6.1 结构与原理 变介电常数型电容传感器(圆筒) 初始电容 电容式液位传感器 电容与液位的关系为： 5.6.1 结构与原理 变简电常数型电容传感器(平板) 当L=0时，传感器的初始电容 当被测电介质进入极板间L深度后，引起电容相对变化量为 电容变化量与电介质移动量L呈线性关系 5.6.2 特性与特点 灵敏度(变极距型) 欲提高灵敏度S，应减小起始极距d； d过小易导致电容器击穿(空气的击穿电压为3kv/mm) ，可在极间加一层云母片(击穿电压103kv/mm)或塑料膜来改善电容器耐压性能 非线性将随最大相对位移增加而增加，因此为了保证一定线性度，应限制动极板的相对位移量 5.6.2 特性与特点 灵敏度(平移变面积型) b △a a b d k 减小d 、加云母片、增大b、采用差动结构可提高灵敏度 5.6.2 特性与特点 灵敏度(旋转变面积型) 初始电容越大、灵敏度越大 5.6.2 特性与特点 灵敏度(圆筒变介电常数型) 初始电容越大、H越小、ε1越大，灵敏度越高 5.6.2 特性与特点 灵敏度(平板变介电常数型) 介电常数差异越大、初始长度越小，灵敏度越高 5.6.2 特性与特点 非线性(仅变极距型才有) 普通 差动 差动结构可提高灵敏度一倍，并降低非线性 5.6.2 特性与特点 优点 温度稳定性好，电容值与电极材料无关本身发热极小 结构简单、适应性强 动态响应好 可以实现非接触测量、具有平均效应 5.6.2 特性与特点 动态性好 极板间的静电引力很小，需要的作用能量极小 可测极低的压力和力，很小的速度、加速度。可以做得很灵敏，分辨率非常高，能感受0.001mm甚至更小的位移 可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻 其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫的频率下工作，特别适合动态测量。 介质损耗小，可以用较高频率供电 系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数，如测量振动、瞬时压力等。 5.6.2 特性与特点 缺点 1、输出阻抗高、负载能力差 传感器的电容量受其电极几何尺寸等限制，一般为几十到几百皮法，使传感器的输出阻抗很高，尤其当采用音频范围内的交流电源时，输出阻抗高达106～108?。因此传感器负载能力差，易受外界干扰影响 2、寄生电容影响大 传感器的初始电容量很小，而传感器的引线电缆电容、测量电路的杂散电容以及传感器极板与其周围导体构成的电容等“寄生电容”却较大，这一方面降低了传感器的灵敏度；另一方面这些电容(如电缆电容)常常是随机变化的，将使传感器工作不稳定，影响测量精度 5.6.3 等效电路 L包括引线电缆电感和电容式传感器本身的电感； r由引线电阻、极板电阻和金属支架电阻组成； C0为传感器本身的电容 Cp为引线电缆、所接测量电路及极板与外界所形成的总寄生电容 Rg是极间等效漏电阻、极板间的漏电损耗和介质损耗、极板与外界间的漏电损耗和介质损耗 r C0 CP Rg L 5.6.3 等效电路 低频等效电路 传感器电容的阻抗非常大，L和r的影响可忽略 等效电容Ce=C0+Cp， 等效电阻Re≈Rg Ce Rg 5.6.3 等效电路 高频等效电路 电容的阻抗变小，L和r的影响不可忽略，漏电的影响可忽略 ，其中Ce=C0+Cp，而re≈r re Ce L 高频等效电路 由于电容传感器电容量一般都很小，电源频率即使采用几兆赫，容抗仍很大，而R很小可以忽略，因此 此时电容传感器的等效灵敏度为 当电容式传感器的供电电源频率较高时，传感器的灵敏度由kg变为ke，ke与传感器的固有电感（包括电缆电感）有关，且随ω变化而变化。 5.6.3 等效电路 5.6.4 测量电路 (1) 调频电路 (2) 运算放大器电路 (3) 双T型电桥电路 (4) 脉宽调制电路 5.6.4 测量电路 (1) 调频电路 (1) 调频电路 当被测信号为零时，△C=0，振荡器有一个固有振荡频率f0， 当被测信号不为零时，△c≠0，此时频率为 具有较高的灵敏度，可测至0.01μm级位移变化量易于用数字仪器测量，并与计算机通讯，抗干扰能力强 5.6.4 测量电路 (2). 运算放大器电路 最大特点：能克服变极距型电容传感器的非线性 Cx是传感器电容 C是固定电容 u0是输出电压信号 运算放大器式电路原理图 u C - A C x ∑ ～ u 0 5.6.4 测量电路 结论：从原理上保证了变极距型电容式传感器的线性 5.6.4 测量电路 (2). 运算放大器式电路