激光损伤光学玻璃的微区透过率研究.docVIP

第41卷第12期激光与红外Vol．41,No．12 2011年12月LASER＆INFRARED December,2011 文章编号:1001-5078(201112-1351-04·光电技术与系统·激光损伤光学玻璃的微区透过率研究 谭勇,蔡红星,张喜和,金光勇,张宇,高勋,刘丽炜 (长春理工大学理学院,吉林长春130022 摘要:激光微小光斑损伤光学玻璃,其损伤区域的线径仅几百微米,用传统方法很难测试其 透过率。本文提出一种微区透过率测试方法和算法,用透镜将金相显微镜和光纤光谱仪耦合 成一套测试设备,该测试设备在定量分析损伤区域大小和形貌的同时,检测此区域损伤前后的 透射光谱曲线,并利用算法计算光谱透过率。最终,根据光谱透过率获得激光损伤光学玻璃的 阈值。 关键词:显微;光谱透过率;微区检测;损伤阈值;光学玻璃 中图分类号:O432文献标识码:A DOI:10．3969/j．issn．1001-5078．2011．12．013 Micro-transmittance detection of optic glasses damaged by laser TAN Yong,CAI Hong-xing,ZHANG Xi-he,JIN Guang-yong,ZHANG Yu,GAO Xun,LIU Li-wei (Academic of Science,Changchun University of Science and Technology,Changchun130022,China Abstract:Area of optical glass damaged by laser is only several hundred microns．Its transmittance detection is diffi- cult with common method．A kind of new test and algorithm is reported in this paper．A metallographic microscope and an optical fiber spectrometer are mixed into a test system with lenses．The system is useful to quantitatively analyze the damaged micro-area and morphology．At the same time,the transmittance spectra of the micro-area can be tested be- fore and after damage．These spectra are calculated to gain the transmittance．At last,the damage threshold is obtained by spectrum transmittance． Key words:microscopy;spectrum transmittance;micro-area test;damage threshold;optical glasses 1引言 激光广泛应用于医疗、工业加工和科学研究等领域,光学玻璃作为激光应用过程中必不可少的元器件,其抗激光损伤程度直接关系着激光的使用。在激光损伤光学玻璃上的研究,主要集中在损伤阈值、等离子体辐射、损伤形貌和热力效应等方面。而标志着传输光辐射能的强弱的光学透过率,作为损伤程度的判据之一,引起了广泛的关注。 通常,光学透过率用光谱透过率表征,CIE(国际照明协会规定透过率,需用特定色温下的白光作为光源,测量可见光区域内的光谱透过率总和[1－3]。G．A．Zerlaut和J．G．Symons等研究者分别利用单端口和双端口积分球检测放置在球壁端口处的样品的光学透过率[4－5],Jeffrey Kessel用有限差分方程获得积分球内样品定向半球透过率测量的表达式[6]。郑玉等人提出了利用单积分球和CCD相机测试光纤器件透过率方案[7],王红平等人在互相关原理的基础上提出一种光学系统透过率检测技术[8]。这些技术或标准都基于以下前提,那就是测试样品的表面光滑和内部均匀,透过率区域大于或等于探测区域。 激光微小光斑损伤光学玻璃,具有材料表面的形貌不均匀变化和内部缺陷引起断裂[9－11],损伤区 基金项目:国家“973”项目;国家科技攻关课题项目(No．2007BA107A00－1支持资助。 作者简介:谭勇(1975－,男,在读博士,讲师,主要从事非线性光学,光与物质相互作用方面的研究。E-mail:laser95111@yahoo．com．cn 收稿日期:2011-06-