第十一讲 扫描探针显微分析-现代材料物理研究方法.pptVIP

* STM ??工作模式 STM有两种工作方式。一种称为恒电流模式:利用一套电子反馈线路控制隧道电流 I ，使其保持恒定。再通过计算机系统控制针尖在样品表面扫描，即使针尖沿x、y两个方向作二维运动。由于要控制隧道电流 I 不变，针尖与样品表面之间的局域高度也会保持不变，因而针尖就会随着样品表面的高低起伏而作相同的起伏运动，高度的信息也就由此反映出来。这就是说，STM得到了样品表面的三维立体信息。这种工作方式获取图象信息全面，显微图象质量高，应用广泛。 * STM ??工作模式 另一种工作模式是恒高度工作:在对样品进行扫描过程中保持针尖的绝对高度不变；于是针尖与样品表面的局域距离 s 将发生变化，隧道电流I的大小也随着发生变化；通过计算机记录隧道电流的变化，并转换成图像信号显示出来，即得到了STM显微图像。这种工作方式仅适用于样品表面较平坦、且组成成分单一(如由同一种原子组成)的情形。 从STM的工作原理可以看到：STM工作的特点是利用针尖扫描样品表面，通过隧道电流获取显微图像，而不需要光源和透镜。这正是得名扫描隧道显微镜的原因。 * 1．表面形貌测量及其分辨率 假设样品表面存在陡变台阶，由于针尖半径R有一定尺寸，针尖的轨迹将有一过渡区δ。δ与 R、s 和 k 有如下近似关系： R：针尖半径 S：针尖至表面距离 若 R = 3 ?, s = 2 ?, k = 1 ? -1 则 δ≈1.6 ? (分辨率) 只有在表面各处逸出功相同时，针尖在z方向的位移才表示样品外形的起伏。 K = φ = (1/2)(φ1+φ2) 扫描隧道显微镜的应用 * 2．逸出功的测量 由 I ∝ exp[- 2 ks] ΔI/I = - 2 kΔs ΔI/Δs = 2Ik 若I保持不变 则：dI/ds ∝ k∝φ1/2 工作方式： 扫描中保持I不变，使s有一交流调制，dI/ds 随x,y变化。dI/ds(x,y)平方后即为逸出功象。 3．扫描隧道谱(STS) 在表面的某个位置作I-V 或dI/dV－V，得有特征峰的STS。在特征峰电压处，保持平均电流不变，使针尖在X、Y平面扫描，测dI/dV随x,y的变化，得扫描隧道谱象。 表面的电子性质和化学性质表现在I-V和dI/dV－V 曲线中。 * STM ??应用说明 水平分辨率: 0.1 nm；纵向分辨率: 0.001 nm 如样品表面原子种类不同，或样品表面吸附有原子、分子时，由于不同种类的原子或分子团等具有不同的电子态密度和功函数，此时STM给出的等电子态密度轮廓不再对应于样品表面原子的起伏，而是表面原子起伏与不同原子各自态密度组合后的综合效果。 在Vb和I保持不变的扫描过程中，如果功函数随样品表面的位置而异，也同样会引起探针高度（Vz）的变化。 STM不能区分这两个因素，但用STS方法可将此两因素区分开来。利用表面功函数、偏置电压Vb与隧道电流之间的关系，可以得到表面电子态和化学特性的有关信息。 对于非导体或针尖有沾污的情况，不能进行正确的测量。 * 特点： △ 能测量绝缘体的表面形貌 (STM不能) △ 测量表面原子间的力 测量弹性、塑性、硬度等 原子力显微镜(AFM)Atomic Force Microscope * Binnig, Quate,和Gerber等人1986年在斯坦福大学发明了新一代SPM--原子力显微镜（AFM）。当时的AFM横向分辨率已经可以达到2nm，纵向分辨率为0.01nm，这样的分辨率超过了普通扫描电子显微镜。而且AFM对工作环境和样品制备的要求比电镜要小的多。 * AFM 工作原理 微悬臂一端固定，另一端有一微小针尖。 针尖与表面轻轻接触(斥力:10－8－10－6N)。 样品扫描，保持样品与针尖间作用力恒定(样品与针尖间距离不变)。测得微悬臂对应于扫描各点的位置变化，从而获得样品形貌信息。 利用了原子间的力 关键技术：微悬臂及其位移检测 * AFM----工作模式 常见的AFM操作模式有四种。第一种是恒力模式，即通过反馈回路保持探针与样品表面距离不变，原子间作用力不变，这种模式使用最广。第二种是变化的形变模式，在扫描过程中，检测器直接测量微悬臂的形变量，这种模式因为没有使用反馈回路而具有更高的扫描速度。第三种是恒梯度模式，微悬臂是振动的，检测器通过锁相技术来测量信号。调制频率选在悬臂机械共振频率附近。控制微悬臂振幅恒定可保持共振频率f1恒定。由于关系式 ，其中