《半导体光电子学讲义》下集条形ld.pptVIP

§4.4 条形LD 一.条形LD 由来 相对宽面LD：在LD的侧面向无载流子或光子的限制呈现多“光丝”且随电流发生变化。 ——应用的需要 条形LD：有源区或电极（顶面）的宽度器件的宽度 侧向提供载流子和光子的限制。 2.条形LD的制作 ①条形电极→光刻方法 ②内部形成窄电流通路 增益引导LD：侧向n差来定现约束 a. 质子轰击，破坏晶格，缺陷增大，形成高阻区 b. 制作 掩模层，形成绝缘带 侧向上对少数载流子扩散限制 c. 内条限制：采用p-n-p晶体管结构来限制电流 d. 制作反型p-n结 二.条形LD中侧向电流扩展和侧向载流子扩散 1. 侧向电流扩展：顶、底电极不对称造成侧向电场分布－－多数载流子在电场作用下侧向的漂移，后果使窄的有源层内载流子浓度分布不均匀。 2. 侧向载流子扩散 非平衡少数载流子在由中心向两侧形成的浓度梯度作用下侧向扩散。 3.限制电流扩展，载流子扩散 ①形成侧向高阻区 ②反向PN结 ③深锌扩散 n p n p p p n n n 三.条形LD的波导结构 根据侧向光子限制机制的不同，分为： 1.折射率波导 在侧向由形成折射率差台阶 波导 BH 掩埋异质结 实数折射率 消光系数（吸收/增益） n1 n3 n2 n3 n1 弱折射率引导激光器 （一）脊波导Laser （二）肋波导Lasers 强折射率引导Lasers 为了降低Laser的 ，提高P-I特性线性和调制响应速率，必须在内部建立侧向折射率台阶 ①平面有源层掩埋异质结Lasers ②非平面有源层掩埋异质结Lasers 2. 增益波导 利用有源区侧向的复介电常数的虚部的变化，侧向增益差别造成 种类有： ①氧化物限制条形结构LD ②扩散结区限制条形结构LD ③质子轰击条形结构LD 影响LD性能的主要因素 ①注入电流 ②自由载流子分布 ③条形区的热效应 缺点： ①由载流子变化造成有效折射率降低 ②辐射向无源区渗透 → 相干性差 线宽 20MHz ③多模工作，I↑ 主模红移 优点：可靠性高，制造工艺简单 四.条形LD的优点 ①改善侧向模式，实现侧向基模工作，易于和光纤高效率耦合 ②注入载流子的侧向限制使器件的阈值电流降低 ③有源区产生的热量能通过四个无源区散逸 ④有源区尺寸大小，提高了材料均匀性 ⑤缺陷减少，与外界隔离，工作可靠性↑ 条形激光器 限制电流的基本结构 增益导引激光器 （介电常数虚部、负折射率虚部） 折射率引导LD （介电常数实部、负折射率实部） 氧化物条形 扩散 质子 弱折射率引导LD 强折射率引导LD 平面 有源层 非平面 有源层 五.条形LD的发展方向 ①提高激光器工作寿命和长期工作可靠性，降低阈值电流。百万小时，25年。 ②扩展工作波长，长波长和可见波LD的研究 ③制造窄线宽，单纵模满足高速调制LD、DFB、DBR。 ④提高LD输出功率，相干性↑