第五章电容式传感器.PDFVIP

第五章 电容式传感器 5 －1工作原理与特性 以最简单的平行极板电容器为例说明其工作原理。在忽略边缘效应 的情况下，平板电容器的电容量为： -12 ε— (ε=8.854 10 F/m 式中 真空的介电常数， × ）； 0 0 2 S— m ) 极板的遮盖面积（ ； ε— ε 1 极板间介质的相对介电系数，在空气中， ； δ—两平行极板间的距离（m ）。 上式表明，当被测量δ、S或ε发生变化时，都会引起电容的变化。如 果保持其中的两个参数不变，而仅改变另一个参数，就可把该参数的变 化变换为单一电容量的变化，再通过配套的测量电路，将电容的变化转 换为电信号输出。 根据电容器参数变化的特性，电容式传感器可分