YS/T 826-2012五氧化二铌靶材.pdf

ICS77.160 H 72 中华人民共和国有色金属行业标准 / — YST826 2012 五 氧化 二铌 靶材 Niobium entoxidetaretmaterial p g ㅤㅤㅤㅤ 2012-11-07发布 2013-03-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 / — YST826 2012 五 氧化 二铌 靶材 1 范围 、 、 、 、 、 、 、 本标准规定了五氧化二铌靶材的要求 试验方法 检验规则 标志 包装 运输 贮存 质量证明书和 ( ) 。 合同 或订货单 内容 , 。 本标准适用于以五氧化二铌粉末为原料 采用真空热压工艺制成的五氧化二铌靶材 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本文 。 , ( ) 。 件 凡是不注日期的引用文件 其最新版本 包括所有的修改单 适用于本文件 / 致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GBT3850 / ( ) GBT15076所有部分 钽铌化学分析方法 3 要求 3.1 化学成分 产品化学成分应符合表 规定。 3.1.1 1 ㅤㅤㅤㅤ ( ) 表 1 化学成分 质量分数 % , 主成分 杂质含量 不大于 杂质 NbO Ta Fe Si Al Cr Cu Mn Mo Ni Sn Ti W 2 5 总和 余量 0.008 0.001 0.005 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 0.001 ≤0.01