加速度计重庆大学课件.pptVIP

MEMS加速度计 应用领域 机械特性检测 土木结构状态监测 汽车 机器人 自动化 地震记录 汽车 结构主动控制 卫星导航 武器制导 玩具 …… 加速度计的精度与价格 MEMS加速度计的特点 尺寸小 重量轻 成本低 易集成 功耗小 …… 据专家预测，MEMS加速度计在不久的将来有可能独占中低精度的加速度计市场的潜力。 基本原理 基本原理 传递函数幅值 基本原理 在单位阶跃加速度 作用下的响应为 加速度计的性能指标 量程 灵敏度： 降低刚度 增加质量 动态范围 提高加速度计的固有频率，但这与提高灵敏度有矛盾。 反应时间 提高固有频率 工作原理 压阻式 压电式 电容式 谐振式 隧穿式 热对流式 …… 半导体的压阻效应（piezoresistivity） 电阻 为电阻率 取 ，得 半导体的压阻效应(piezoresistivity) 半导体的压电效应 施加力F3时，产生电荷 电压为 更完整的表达式 其中 分别为 应力、应变、场强和电 位移； 分别 为刚度矩阵、介电常数 矩阵和压电常数矩阵 半导体的压电效应 常用压电材料 石英晶体 PZT ZnO …… ZnO压电层 电容式(Capacitor) 运动导致电容的变化 电容 边缘场影响 谐振式（Resonator） 运动方程 无阻尼频率 有阻尼频率 其中 当质量、刚度、阻尼改变时，系统的频率随之变化，反之，可由频率的变化反推这些物理量的变化 刚度改变可由附加物质、边界条件和内应力引起 质量和阻尼的变化可由附加物质、外部环境引起 弯曲频率随轴力的变化 轴力导致梁或膜弯曲刚度的变化，进而引起弯曲频率的变化 矩形截面的两端固支梁在轴力N左右下的弯曲频率为 其中w、h和l分别为梁的宽度、厚度和长度，E和 分别为材料的弹性模量和泊松比，n表示频率的阶数， 表示第n阶无轴力频率，其值为 系数 和 见下表 两端固支梁频率计算系数 基于热激励和压阻感知 工作原理 质量块400um×400um，弹性支承梁30um×130um，铰4um×8um，感知与激励梁200um×3um。 结构一阶频率约17kHz。 空气中的品质因子约100，在 0.01mbar下的品质因子约为 60000。 第一个样品灵敏度约70Hz/g， 带宽10kHz，分辨率0.1g； 第二个样品灵敏度约45Hz/g。 隧穿式（Tunneling） 在一定的电压作用下，隧穿电流为 其中 为归一化电流， 为隧道势垒 高度， 为隧尖到电极之间的距离， 为转换系数。 可根据隧穿电流检测隧尖与电极之间的距离。 典型初始间距约1nm，间距变化0.01nm时，隧道电流的相对变化量达4.5%。 Peking University 800mV/g 热对流式加速度计 MEMSIC 应用于较低频率 总结 介绍了压阻、压电、静电、谐振、隧道等多种感知原理 以及基于多种感知原理的加速度传感器 特点、工艺、设计优化 谐振式加速度计（三） 谐振式加速度计（三） 隧道加速度计 极高的灵敏度 低频噪音大（1/f噪声） 必须闭环工作（工艺难度、线性度、量程） 重复性、一致性差 隧道加速度（一) 隧道加速度（一) 隧道加速度（一) 隧道加速度（二) 隧道加速度（三) 隧道加速度（三) 隧道加速度（三) 隧道加速度（四) 压电式加速度计（三） 压电式加速度计（三） 压电式加速度计（三） 电容为 其中 分别为空气的介电常数和两电极的正对面积。电容的变化与位移不成正比，非线性较强。 电容的相对变化为 令 若初始偏移为 ,则当 时, 线性度比较好。 梳齿电容器的电容与位移的线性度很好，得到广泛的应用。 电容式加速度计 敏感器件制作简单 不受温度影响 读出电路复杂 易受寄生参数影响 非线性 电容式加速度计（一） 电容式加速度计（一） 电容式加速度计（一） 电容式加速度计（一） 电容式加速度计（二） 电容式加速度计（二） 电容式加速度计（二） 电容式加速度计（三） 电容式加速度计（三） 电容式加速度计（三） 电容式加速度计（四） 电容式加速度计（四） 电容式加速度计（四） 电容式加速度计（四） 0.03553 17.28 5 0.05155 14.14 4 0.08119 11.00 3 0.1453 7.854 2 1 模态 0.2949 4.730 谐振式加速度计 （可用电阻热激