YS/T 1124-2016磁性溅射靶材透磁率测试方法.pdf

ICS77.120.99 H21 中华人民共和国有色金属行业标准 — YST1124 2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法 Testin methodon assthrouhfluxofmaneticsutterin taret g p g g p g g ㅤㅤㅤㅤ 2016-07-11发布 2017-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发 布 YS — T1124 2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法 1 范围 、 、 。 本标准规定了磁控溅射用磁性靶材透磁率的术语和定义 检测设备 检验过程及结果计算等内容 本标准适用于溅射薄膜用各类磁性靶材透磁率的检验。 2 术语和定义 下列术语和定义适用于本标准。 2.1 透磁率 assthrouhflux p g PTF , 。 直流磁场从磁性靶材一面透过另一面的比率 也称磁透率 2.2 源磁场 sourcefield , , 。 使用霍尔探头高斯计测量的贴近载物台上表面的磁场 为直流磁场 单位为Gs 2.3 ㅤㅤㅤㅤ 参考磁场 referencefield , 。 载物台预置靶材的上表面位置的磁场 其强度取决于霍尔探头到源磁体的距离 2.4 测量磁场 measurin field g 溅射靶材置于载物台后靶材的上表面位置的磁场。 3 检测设备 、 、 , 透磁率检测设备主要包括源磁体 载物台 高斯计和霍尔探头等 设备放置在无铁磁性材料或外部 。 。 强磁场干扰的环境中 示意图如图 所示 1 3.1 源磁体 , , 。 。 源磁体为马蹄形永磁铁 固定到载物台的下方 并保持稳定 源磁体两极平行于载物台表面 调整 , 。 源磁体距离载物台的位置 使霍尔探头高斯计测得的源磁场强度