激光其他测量的技术应用.pptVIP

2006年3月6日星期一 二、音叉扫描测径 设扫描光点的运动方程为: 光点在扫描方向横切细线两侧的时间为t1和t2,坐标为S1和S2，则 如果参考信号的运动方程为: 2006年3月6日星期一 二、音叉扫描测径 在t1和t2时所截取的电压分别是 电压差: 2006年3月6日星期一 三、扫描镜电流计测径 2006年3月6日星期一 四、位相调制扫描测量技术 影响激光扫描测量精度的主要因素： 工件边缘的衍射现象。 衍射使被测工件的边界模糊，用时间脉冲计数时，必然引人误差，使前述的光点扫描测量精度限制在士0.01 mm。 位相调制扫描测量技术采用空间调制光束来扫描工件，通过测量位相，而不是测时间来获得被测件的尺寸，测量精度可达士1 um，适合于各种高温、高压下做非接触高精度现场测量。 2006年3月6日星期一 四、位相调制扫描测量技术 2006年3月6日星期一 四、位相调制扫描测量技术 设PBS分开的两束光的光强相等，则扫描光①、②、③之间的光强I1,I2.I3，有如下关系: 若Pockels调制器的振荡频率为。，由图6-18可知，光束①+③是(I1+I3) (1 + sin wt)。而光束②的方程是I2(1-sin wt)。对任意时刻，调制扫描光束的表达式为 2006年3月6日星期一 四、位相调制扫描测量技术 1当光束③与工件相遇时为a区，扫描光束扫过工