控制技术应用与系统第七章控制系统设计方式与实例.pptVIP

探针悬臂梁变形检测 激光器:波长650nm，外形尺寸φ8mm×21mm 接收器:硅光电池型四象限器, 外径φ8.2mm，光面5mm×5mm 调节器的调解能力: △s=1.2/360×0.25/9×2×50=0.00925mm=9.25um 并行AFM电子控制系统 并行AFM电子控制系统 并行AFM电子控制系统 并行AFM电子控制系统—PI分析 假设样品的形貌为h，压电陶瓷的伸缩量为d δ=d-h △z=δ=d-h }= 高压运放与PZT管看为一个运放: Kpzt 探针变形可看作延时环节 并行AFM电子控制系统—PI分析 Tp 取探针自由振动周期的5倍 F=71k 实验测出的Kop为0.01289v/nm PZT系数:17nm/V 高压放大倍数: 15、10、5、 1 积分电容: 105pF RC=2ms，Kpzt=255，不同的比例放大倍数Kp，反馈控制对4nm阶越信号的响应 当积分常数RC=1ms时，不同的比例放大倍数，对4nm的台阶的响应 当Kp、Kpzt固定，Kp=12，Kpzt=255时，不同的积分常数，对4nm的台阶，PI系统得响应 当Kp=5，Kpzt=255时，不同的积分常数对应的PI反馈输出响应 当PI环节保持不变，高压运放取不同的放大倍数，对于1nm的台阶，系统的响应 并行AFM电子控制系统—PI分析 结论： 采样1024点，PI反馈的响应时间最好在0.5ms以内 比例P、积分I的参数相互影响 1.当I一定时，P越大，系统地响应越快 2.当Kp一定时，I越小，系统的响应越快 3.当取积分常数为1ms时，P8时，系统就可能发生震荡 PI固定时，对于相同的样品的形貌，高压放大倍数越小，PI反馈输出越大，有利于形貌信号的采集，提高分辨率，但响应变慢 105pF积分电容，100K可变电阻来控制积分常数，比例电路的放大倍数不超过8为宜 数据采集及接口 DA DAS-DA8 DA 输出 14bit 1.22mV 0.008nm AD DA-100L AD 12bit 4.9mv 0.083nm AFM控制软件 数据采集与显示、后处理和模拟教学 在线改变采集的速度，采集点数，扫描的范围、位置、工作点、扫描方式等信息 实现马达的逼近/远离、获得力曲线及力曲线标定等功能。 能够同时采集16种数据，并能够选择四种实时处理方法对数据进行处理，实时显示其中的9种数据图像或16个扫描曲线(示波器模式) AFM控制软件-主线程 AFM控制软件 设计效果 探针1获得软盘的表面形貌图。左图为前扫描， 右图为后扫描图。扫描的面积4.0μm×4.0μm 控制技术与系统 control technology and system 党学明 仪器科学与光电工程学院 第七章 控制系统的设计方法与实例 主要内容： 第一节 控制系统的设计思想 —、设计思想 二．设计方法 第二节 控制系统设计的技术指标 一、技术指标 二、控制系统技术指标的转换 第三节 经典理论设计控制系统的方法 一、控制系统的特性设计 一、校正方式 三、串联校正的基本方法 第四节 控制系统的设计实例 第一节 控制系统的设计思想 控制系统的设计任务就是根据控制对象特性、技术要求及工作环境，选择设计元、部件及信号变换处理装置，组成相应形式的控制系统，完成给定的控制任务。 从控制系统设计的角度出发，一般将控制系统分为：顺序控制系统(或开环控制系统)、反馈控制系统(或闭环控制系统)、复合控制系统(由开环控制与闭环控制相结合构成)， 对于不同的控制对象，系统的设计方案和具体的技术指标是不同的，但控制系统的设计原则是相同的。这就是满足工艺要求，可靠性高，操作性能好，实时性强，通用性好，经济效益高。 —、设计思想 (—)设计大纲的制定 包含内容： 1)明确控制对象及其控制过程的工艺特点及要求 2)限定控制系统的工作条件及环境。 3)关于控制方案的特殊要求。 4)控制系统的性能技术指标。 5)规定试验项目。 (二)设计步骤 1、建立控制对象的数学模型 2．方案选择 3．建立系统框图 4．静态计算 5．动态特性分析及校正装置的确定 6．改变控制方式 7．实验与仿真 (三)基本设计 1．元件选择 2．建立确定系统组成元、部件的数学模型 3．动态计算 (四)工程化设计 (五) 测试调试 控制系统的设计阶段又分为总体设计、硬件设计、软件设计等几个步骤。 1． 总体设计 （1）确定系统任务与控制方案 （2）确定系统的构