《制冷与低温测试技术》压力.ppt

霍尔传感器应用 测量压力 被测压力由弹簧管１ 的固定端引入，弹簧管自由端与霍尔片３ 连接，在霍尔片的上、下方垂直安放两对磁极，使霍尔片处于两对磁极形成的线性磁场中。霍尔片的四个端面引出四根导线，其中与磁钢２ 相平行的两根导线与稳定电源相连接，另两根导线用来输出信号。 当被测压力引入后，弹簧管自由端产生位移，因而改变了霍尔片在线性磁场中的位置，将机械位移量x 转换成霍尔电势UH ，如果再加上U／I 转换器，则把UH 转换成电流I 。此电流I与位移x呈线性关系。 电阻式压力变送器 将压力测量信号转换成应变片的电阻值信号 分类 金属应变片（丝式应变片） 膜片式应变片，金属材料或半导体材料制成膜片 箔式应变片，应变电阻用光刻技术分布于整个膜片上 半导体膜片，扩散型单晶硅感压电阻膜，硼杂质扩散在硅的深处，形成P型区 导体在机械变形时，电阻值发生变化，叫“应变效应”。 有两种类型:一类是利用半导体材料的体电阻做成应变片，粘贴在测压的弹性元件或悬臂梁上，作为应变一电阻的交换元件，称为粘贴型压阻式变送器;另一类是在半导体材料的基片上用集成电路工艺扩散电阻，既作为压力测量敏感元件，又作为应变一电阻变换元件，称为扩散型压阻式变送器。由于所使用的半导体为单晶硅，所以也称为扩散硅式变送器。 丝式 箔式 电阻式压力变送器 一般电丝是圆截面，则S=?r2，r为电阻丝的半径。