现代精密仪器设计第五章微位移技术应用.pptVIP

典型柔性铰链转角柔度特性对比 有限元分析结构与理论公式计算结果最大误差不超过8%，证明理论模型的正确性。 以圆形柔性铰链的转角柔度为比较基准，引入转角柔度比函数 ： 典型柔性铰链转角柔度特性对比 椭圆形、抛物线形、双曲线形柔性铰链与圆形柔性铰链的柔度比函数分别为 ： 典型柔性铰链转角柔度特性对比 椭圆形与圆形柔性铰链 柔度比函数 抛物线形与圆形柔性铰链 柔度比函数 （1）当参数α增大而β减小时，柔度比函数fi增大； （2）对于相对较大的参数α和相对较小的参数β，椭圆形柔性铰链、抛物线形柔性铰链和双曲线形柔性铰链的转角柔度大于直圆形柔性铰链的转角柔度，即转角柔度比参数fi大于1，且椭圆形柔性铰链具有最佳转角柔度特性； （3）对于参数β的某一固定值，参数α存在一个临界值，当α大于该临界值时，双曲线形柔性铰链的转角柔度大于与抛物线形柔性铰链的转角柔度；当α小于该临界值时，抛物线形柔性铰链的转角柔度大于双曲线形柔性铰链的转角柔度。 典型柔性铰链转角柔度特性对比 双曲线形与圆形柔性铰链 柔度比函数 β固定 柔度比函数 （1）当参数α增大而β减小时，柔度比函数fi增大； （2）对于相对较大的参数α和相对较小的参数β，椭圆形柔性铰链、抛物线形柔性铰链和双曲线形柔性铰链的转角柔度大于直圆形柔性铰链的转角柔度，即转角柔度比参数fi大于1，且椭圆形柔性铰链具有最佳转角柔度特性； （3）对于参数β的某一固定值，参数α存在一个临界值，当α大于该临界值时，双曲线形柔性铰链的转角柔度大于与抛物线形柔性铰链的转角柔度；当α小于该临界值时，抛物线形柔性铰链的转角柔度大于双曲线形柔性铰链的转角柔度。 刚度理论模型 由位移和载荷之间的关系及功能守恒定理得单组柔性机构的刚度理论模型为： 则n组串联后的刚度理论模型为： 串联柔性机构受力F时，单组机构的最大应力为： 最大应力模型 为便于研究单组柔性机构几何参数对 其最大应力的影响引入参数λ : 串联柔性机构分析与设计 在柔性机构支承的精密定位系统中，柔性机构的刚度值过大则要求驱动系统有较高的驱动能力，刚度值过小则定位系统的稳定性降低。因此，在柔性机构的设计过程中对刚度必须予以充分考虑。 柔性机构利用材料自身的弹性变形和自回复能力实现运动，设计过程中最重要的一点是要保证机构在不失效的情况下完成既定任务。因此柔性机构运动过程中的最大正应力σmax必须小于材料的屈服强度σs，否则机构将因发生塑性变形而失效。 几何参数与刚度关系曲线 串联柔性机构分析与设计 单组柔性机构的刚度值随t和c的增加而增加，随a和l增加而减小，且t、c对刚度的影响大于a、l对刚度的影响；t和c在增量相同的情况下，t对刚度的影响较大；a和l在增量相同的情况下，a对刚度的影响较大。 几何参数与最大应力参数关系曲线 串联柔性机构分析与设计 在位移量一定的情况下，单组柔性机构的最大应力随t和c的增加而增加，随a和l的增加而减小，且t、c对最大应力的影响大于a、l对应力参数影响；t和c在增量相同的情况下，t对最大应力的影响较大；a和l在增量相同的情况下，a对最大应力的影响较大 各参数取值情况：a=3mm，c=1mm，t=0.25mm，b=8mm，l=9mm，n=5。将个参数带入刚度和最大应力公式得： 1串联柔性机构分析与设计 有限元分析得刚度值2.82N/mm，最大应力为153MPa ；分析所得刚度值略大于理论值，应力值小于理论值。 位移2.5mm应力云图 串联柔性机构分析与设计 刚度实验测试：实验测得的刚度值为2.94N/mm，与理论公式计算结果(2.73N/mm）的误差为7.1%。 串联柔性机构分析与设计 固有频率为： 下图为串联柔性机构1/2模型的多刚体离散化模型，动能公 式为： 计算得串联柔性机构的固有频率为： 串联柔性机构分析与设计 串联柔性机构分析与设计 5.5精密微动工作台的设计及其特性分析 ? 实现微位移机构的方案比较多，用途也很广泛，根据不同的要求，采取不同的方案。应以满足使用要求而又经济合理为准则。但作为精度补偿用的微动工作台，因它的精度要求比较高，一般都在亚微米级以上，所以设计时除满足使用要求外，还应具有良好的静态特性和动态特性。 5.5.1设计要求 ?1）微动工作台的支承或导轨副应无机械摩擦和无间隙，使其具有较高的位移分辨率，以保证高的定位精度和重复精度，同时还应满足工作行程； 2）微动工作台应具有较高的几何精度，即颠摆、滚摆和摇摆误差要小，还应具有较高的精度稳定性； 3）微动工作台应具有较高的固有频率，以确保微动台有良好的动态特性和抗干扰能力，即最好采用直接驱动的方式，无传动环节； 4）微动系统要便于控制，而且响应速度快。 。 5.5.2设计中需考虑的几个问题 1.导轨形式