FLY系列正性光敏聚酰亚胺产品说明书.PDFVIP

FLY 系列正性光敏聚酰亚胺产品说明书 一、产品简介 FLY 系列聚酰亚胺（FLY-PSPI ）是一类可应用于集成电路器件制作与封装的 正性光致抗蚀剂。FLY-PSPI 不仅可以在后封装工序中用作器件内部的应力缓冲 与钝化层，而且还可以在前工序中用作凸点制作与保护、再分布层等。FLY-PSPI 的化学组成如下图所示： O O HN OR Ar Ar RO NH O O HO OH n F-PSPI基体树脂