薄膜制备技术应用第二部分真空技术应用基础.pptVIP

旋片式机械真空泵 经过n个循环后 当泵室体积大，被抽容积小时，即ΔV/V 越大，V/(V+ΔV)n→0越快，Pn →0越快。 但n→∞时Pn →0。实际上不可能，有一极限值，因为泵结构上存在“有害空间→ 出气口与转子密封点之间的极小空隙空间。1处的气体不能被排走，会穿过2点，回到吸气侧。 旋片式机械真空泵 每秒转子转m次，则t秒转 n=mt，这时待抽空间的压强为Pt： 机械泵的工作特性曲线 上式只有在Pt远远大于极限真空时才适用，即该关系适用于抽气的早期。 旋片式机械真空泵 双级泵和机械泵油 为了减小有害空间的影响，通常采用双级泵；该泵由两个转子串联，以一个转子空间的出气口为另一个转子空间的进气口。可使极限真空从单级泵的1Pa提高到10-2Pa ； 机械泵油要求：饱和蒸气压低，有一定的润滑性和粘度，较高的稳定性。 分子泵 当气体分子碰撞到高速移动的固体表面时，在表面停留很短时间，并在离开时获得与固体表面速率相近的相对切向速率。 靠高速转动的转子碰撞气体分子并把它驱向排气口由前级泵抽走，使容器获得超高真空。 特点：启动速度快、噪声小、运行平稳、抽速大、不需任何工作液体。 分子泵 涡轮分子泵是靠对气体分子施加作用力，并使气体分子向特定的方向运动的原理来工作的。 20000到30000转每分钟。 涡轮分子泵的一个特点是对一般气体分子的抽除极为有效。例如对于其压缩比(即泵的出口压力与入口压