真空阴极电弧沉积装饰膜实验.pptVIP

真空阴极电弧沉积装饰膜实验 中国地质大学（北京） 机械工程实验教学中心 付志强 真空阴极电弧沉积装饰膜实验 实验目的 实验设备 实验内容 实验要求 1 实验目的 了解预处理的重要性及预处理设备及流程。 掌握真空阴极电弧沉积的工作原理。 了解镀膜设备结构、工艺过程、适用范围。 了解真空阴极电弧沉积装饰薄膜的特点。 了解液滴的抑制措施。 2 实验设备 预处理生产线 镀膜设备 3 实验内容 预处理 镀膜 预处理 试样表面状况对镀膜工艺的影响 试样表面状况对膜层性能的影响 预处理工艺流程 超声波清洗原理 空化作用 设备原理 逆压电效应 2 镀膜 原理 电弧蒸发源的结构 设备结构 基本组成 真空系统 真空室 阴极及其电源 偏压电源 操作控制柜 沉积工艺的特点 离化率 离子能量 膜层性能 设备 成本 适用的膜层材料 金属 合金 陶瓷 应用范围 耐磨减摩 耐蚀 装饰 声学 电子 生物医学 真空阴极电弧沉积的装饰膜特点 表面形貌特点 颜色 力学性能 使用效果 液滴产生的原因及抑制措施 产生原因 危害 解决办法 不同方法的效果 4 实验要求 预先准备试样 预处理 镀膜 实验报告要求 * 超声波清洗机， 2台 漂洗槽，4台 2个自来水漂洗 2个蒸馏水漂洗 蒸馏水器， 1台 脱水槽， 2台 鼓风烘箱，1台 预处理的重要性 超声波清洗 超声波清洗 自来水漂洗 自来水漂洗 蒸馏水