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使用 TGS 传感器进行有毒及爆炸性气体泄漏检测的技术资 料。
I S O 9001企 业
费加罗 TGS 传感器是厚膜 金属氧化物半导体型的。 它 成本低、 寿命长, 利用简单 电路即可对待检测气体具 有良好的敏感特性。 尤其适 合应用在有毒和爆炸性气 体的泄漏检测器上。
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工作原理 ……………………………………………………….. 2传感器特性 .
氧气分压的影响 ……………………………………….…... 3 气敏特性 ……………………………………………….…... 3 传感器响应 …………………………………………….…... 3 初始动作 ………………………………………………….... 4 温湿度影响 …………………………………………….…... 4 长期稳定性 …………………………………………….…... 4 加热电压影响 ………………………………………….…... 4 传感器使用注意事项 …………………………………………... 5 回路
负载电阻 (RL ………………………………………………. 6 信号处理 ……………………………………………….…... 6 温度补偿回路 …………………………………………….... 7 加热器突入电流 ……………………………………….…... 8 传感器加热器断路检测回路 ………………………….. ….8 防止初始动作报警 ……………………………………….... 8 蜂鸣器延迟回路 ………………………………………….... 8 检测器设计
回路 …………………………………………………….…... 9 检测器外壳 …………………………………………….…... 9 样机评审测验 …………………………………………….... 9 检测器制造
生产设备
传感器 /检测器预通电设备 …………………….. 10 气体测试箱 ……………………………………... 10 工厂环境 ………………………………………... 10 制造工艺
传感器贮存 ……………………………………... 10 传感器预通电 …………………………………... 10 PCB 装配 ………………………………………... 10 传感器装配 ……………………………………... 10 PCB 预通电 ……………………………………... 10 浓度设定 ………………………………………... 11 最终装配 ………………………………………... 11 最终装配的预通电 ……………………………... 11 气体测试 ………………………………………... 11 重新设定 ………………………………………... 11 最终成品的贮存 ………………………………... 11 质量控制 ………………………………………………….. 11
2003年 6月再版 1
1. 工作原理
TGS 气体传感器的敏感材料是金属氧化物 , 最 具代表性的是 SnO 2。金属氧化物晶体如 SnO 2在空气中被加热到一定高的温度时,氧被吸附 在的带一个负电荷的晶体表面。然后,晶体表 面的供与电子被转移到吸附的氧上,结果在一 个空间电荷层留下正电荷。这样,表面势能形 成一个势垒,从而阻碍电子流动(见图 1 。
在传感器的内部, 电流流过 SnO 2微晶的结合部 位 (晶粒边界 。 在晶粒边界, 吸附的氧形成一 个势垒阻止载流子自由移动,传感器的电阻即 缘于这种势垒。还原性气体出现时,带有负电 荷的氧的表面浓度降低,导致晶粒边界的势垒 降低(图 2和图 3 。降低了的势垒使传感器的 阻值减小了。
传感器阻值和还原性气体浓度之间的关系可由 下面的一定范围气体浓度方程表示:
Rs=A[C]-α
这里:Rs=传感器电阻
A=常数
[C]=气体浓度
α=Rs曲线的斜率
图 1-晶粒间势垒模型
(没有气体时
图 2-CO 和 SnO 2上 上吸附氧之间的反应图解
图 3-晶粒间势垒模型
(气体出现时
2003年 6月再版 2
2. 传感器特性
2-1 氧气分压的影响
图 4所示为大气中氧压(PO 2和典型 TGS 传 感器在清洁空气中阻值之间的关系。可以看到 减小氧压会降低传感器阻值。
2-2 气敏特性
根据第一部分的公式,气体浓度在其应用范围 内 (从几 ppm —几千 ppm , 传感器电阻同气体 浓度呈对数线性关系。图 5表示出了传感器电 阻及气体浓度之间的典型关系。传感器对多种 还原气体具有敏感性,对某些气体的相对灵敏 度的最佳化,取决于敏感材料的配方及其工作 温度。由于实际的传感器电阻值每个都不同, 典型的敏感特性由传感器在不同气体浓度下的 阻值 (Rs与待检测气体的一定浓度下的阻值 (R0 的比来表达的。
2-3 传感器响应
传感器先被放入还原性气体
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