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激光测量技术Laser Measurement Technology第三章 激光衍射测量技术 §3.1 激光衍射测量原理衍射:波在传播途中遇到障碍物而偏离直线传播的现象波:声、光、电磁、机械波障碍物：大小、形状对现象均有影响现象：与波的波长、障碍物的大小、光源/观察的位置有关光的波长短， 对很小的孔/屏、狭缝/细丝才有明显的衍射现象；激光出现后，衍射现象才实际应用到测量；1973年，Canada国家研究所T. R. Pryer 提出了激光衍射测量的方法。特点：全场，非接触，稳定性好，自动化程度高，精度高一、 菲涅耳和夫琅禾费衍射按光源、障碍物/衍射物、观察屏三者之间的位置关系划分为菲涅耳衍射和夫琅禾费衍射（1）菲涅耳衍射/近场衍射光源—障碍物—接收屏距离为有限远（2）夫琅禾费衍射/远场衍射光源—障碍物—接收屏距离为无限远 菲涅耳和夫琅禾费衍射夫琅禾费衍射是本章进行衍射测量的基本原理常用光路：1）中央明纹最亮、最宽，它的宽度为其他各级亮纹宽度的两倍；2）次级亮纹的光强随级次的增加而逐渐减小；3）若光程差不等于λ/2 的整数倍时，亮度介于最明与最暗之间；4）衍射条纹平行于单缝方向；5）暗条纹β=kπ即二、单缝衍射测量(一) 单缝衍射测量原理观察屏上的光强分布：单缝衍射的特点：测定任何一个暗条纹的位置就可以精确知道被测间隙的尺寸由，对第k个衍射暗条纹有，由下式时，相当于狭缝尺寸改变被测物尺寸改变——单逢衍射测量的基本公式(二) 单缝衍射测量的基本公式由远场衍射条件有当θ不大时则有:由暗条纹现的公式知: 可求出被测物尺寸或轮廓的变化量(三) 单缝衍射测量的分辨力、精度和量程1.测量分辨力测量分辨力是指激光单逢衍射能分辨的最小量值衍射测量灵敏度——缝宽b越小，级数越高，L越大, 波长越长, 分辨力越高反映了狭缝衍射对尺寸的放大倍数, 即放大了1/t倍 Xk的测量分辨力,决定了狭缝的测量分辨力例：2.测量精度由仪器的随机误差理论，可得到衍射测量误差为例：考虑环境因素的影响，一般测量的精度可达±0.5μm3.测量量程1)b越小,β越大,衍射明显2)b越小, XK变大,光强分布减弱,高级次条纹不明显3)b越大, XK变小,条纹变密, 传感器不易放置, 灵敏度下降Lb2/λ, 仪器尺寸限制, b基本确定，L=1000mm，b0.8mm一般d的宽度取0.01mm-0.5mm三 、圆孔衍射测量屏上接收光强：其中：爱里斑尺寸§3.2 激光衍射测量方法常用的测量方法主要有：1、间隙测量法2、反射衍射测量法3、分离间隙法4、互补测屏法5、爱里斑测量法6、衍射频谱检测法1、间隙测量法基于单缝衍射原理应用：1）尺寸比较测量2）形貌测量3）传感器基本装置：间隙法测量位移，有两种方法(1) 绝对测量法(2)增量测量法间隙测量法作为灵敏的光传感器可用于测定各种物理量的变化，如应力、压力、温度、流量、加速度等测量应变装置:2、反射衍射测量法利用试件棱缘和反射镜构成的狭缝来进行衍射测量的由于平面镜作用，相当于缝宽为2b的单逢衍射，则第k个暗条纹满足下列条件:将上式展开进行三角运算 有 所以有: θ为任意值， 可以测量某一θ角度下的两个xk值求解特点：1、灵敏度提高一倍2、入射光可以以一定角度入射，布置方便应用：表面质量评价、直线性测定、间隙测定等3.分离间隙法问题：组成狭缝的两棱边不在同一平面内利用参考物和试件不在一个平面内所形成的衍射条纹进行精密测量的方法被称为分离间隙法P1出现暗条纹的条件： 可得： P2点出现暗条纹的条件： 由可得分离间隙衍射的缝宽公式为当k1=k2时应用举例: 4、互补测量法巴俾涅原理用平面光照射两个互补屏时，它们产生的衍射形状和光强除光源点的几何像点之外完全相同，仅复振幅的位相差为π。细丝,薄带可进行衍射测量:互补测量法测量细丝直径的范围一般是0.0l—0.1mm测量精度可达0.05μm5.爱里斑测量法测量对象：直径约在10~90 μm范围之间的喷丝头基于圆孔的夫琅和费衍射原理，由于艾里斑中心亮斑和暗环没有十分明显的边界，因此采用能量比较法间接测量假设：通过微孔衍射所得到的明暗条纹的总能量不随孔的微小变化而变化，但明暗条纹的强度分布随孔的变化而急剧改变。方案：设计使光电探测器5接收衍射图的全部能量（中心亮斑和前四个亮环即可），光电接收器7只接收艾里圆的部分光能量，通常选取艾里圆面积的一半。电压比较器将光电接收器5和7的电压信号进行比较从而得出被测孔径。6.衍射频谱检测法由傅里叶光学知: 平面波射向任意周期性的物体,会在远场发生夫琅和费衍射,衍射光强中的各级光的角度、频谱强度由衍射屏的傅里叶变换所决定在透镜像方焦面上的复振幅分布(衍射图样)是物面的复振幅分布（透射率）的傅里叶变换 应用方法: 1.傅里叶变换检测法 直接利用透镜的傅里叶变换