11 静电防护工艺 11.1 静电消除 静电是物体表面过剩或不足的电荷,它存在于物体表面; 静电的产生和消失过程中的电现象称为静电释放现象。 静电消除有以下两种方法: (1)泄漏法:适用于带静电的导体; (2)中和法:适用于带静电的绝缘体。 11.2 静电防护材料 静电导体:表面电阻率<1 X 106 Ω.cm; 静电亚导体:表面电阻率<1 X 106~9 Ω.cm; 静电非导体:表面电阻率>1 X 1010 Ω.cm; 静电防护材料均采用静电亚导体制成 11.3 接地 硬接地:直接接地或通过低阻抗接地; 软接地:通过足够的阻抗(1 X 106 Ω)接地,使电流限制在人身安全电平(5mA以下); 接地电阻按GJB1696规定应小于10 Ω。 11.4 防静电工作区的主要指标要求 静电电位泄放至100V以下的时间应小于1s,静电防护操作系统的电阻上限为109 Ω; 静电防护操作系统的泄漏电路不允许超过5mA,为此操作系统的电阻下限位106 Ω; 接地工作台台面上任意一点对地表面电阻为106~9 Ω; 腕带与大地之间的电阻为106~8 Ω,静电泄放至
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