《第七章压电式传感器》-公开课件.pptVIP

石英晶体与压电陶瓷的比较 石英晶体 压电陶瓷 a 单晶体 人工制造的多晶体 b 极化方向：X、Y Z轴 c 介电和压电常数 灵敏度高 的温度稳定性好 压电材料的主要性能指标 一、电压放大器 左图为电压放大器电路简化等效电路图，图中 ± U Ca R C Usc Usr ?A ； 如果压电元件受作用力的为交变力 F＝Fm ·Sinωt Fm — 作用力幅值 。则产生的电荷与电压均按正弦规律变化（压电元件是压电陶瓷在其电轴上作用交变力） Q＝d33F； d33—压电系数 。 则压电元件上产生的电压值 ： 根据上面的电路，可得到前置放大器的输入电压Vsr，写成复数形式 ： 则前置放大器输入电压的幅值Vsrm为： 输入电压与作用力之间相位差为： 传感器的电压灵敏度 ： 因为 ，则 结论： （1）当ω＝0（作用在压电元件上的力是静态力），则放大器输入电压等于零，这意味着电荷被泄漏，从原理上这时压电传感器不能测静态量； （2）当 ，可近似看作放大器输入电压与作用力的频率无关，（被测物理量变化频率越高越能满足上述条件），可见压电式传感器高频响应非常好。 （3）为扩大低频响应范围，必须尽量提高回路的时间常数，但不能提高电容，否则电压灵敏度会下降，因此只能提高电阻。主要取决于前置放大器的输入电阻，放大器输入电阻越大，测量回路的时间常数越大，传感器的低频响应越好。 电压放大器电路简单，元器件少、价格便宜、工作可靠，但电缆长度不能长，增加电缆长度会降低传感器的电压灵敏度，而且不能随便更换出厂时规定的电缆，一旦更换电缆，必须重新校正灵敏度，否则将引起测量误差。 二、电荷放大器 用电压放大器作为前置变换电路使得输出USC不仅与电荷量有关，还与连接电缆等分布参数如CC有关，所以系统的互换性不好，采用电荷放大器就可以较好地解决这个问题。 电荷放大器实际上是一个具有深度负反馈的高增益运算放大器。 当放大器开环增益和输入电阻、反馈电阻相当大时，放大器的输出电压Vsc正比于输入电荷Q。 ①基本电路（ A无限大、Ri无限大的理想放大器） 分压 ②系统的实际等效电路分析（ A有限大、C=Cc + Ca + Ci ） A为运放的开环增益，一般为104～106。 结果与C无关。 则 ： 电荷放大器的输出电压仅与电荷量和反馈电容有关。 ① 可认为传感器的灵敏度与电缆电容无关，更换电缆和使用较长电缆（数百米）时，无需重新校正传感器灵敏度。 Rf（约1010～1014Ω）提供直流反馈； 电荷放大器的时间常数RfCf相当大（105S以上），下限截止频率fL=1/(2πRfCf) ，低达3×10-6Hz，上限频率高达100KHz，输入阻抗大于1012Ω，输出阻抗小于100Ω。 ② 压电式传感器配用电荷放大器时，低频响应比配用电压放大器要好得多，可对准静态的物理量进行有效的测量。 电荷放大器的实际电路举例 设计电荷放大器时，为了基本满足Ri近似无限大的条件，所选运算放大器的输入阻抗应大于1010Ω，至少不应小于109Ω ；开环增益一般应达到90dB。本例中200MΩ和22K电阻是为了防止放大器饱和而加入的。 §7-4 压电式传感器的应用 （一）压电式加速度传感器 （二）压电式压力传感器 （三）压电式流量计 （四）集成压电式传感器 （五）压电式传感器在自来水管道测漏中的应用 当传感器感受振动时，因为质量块相对被测体质量较小，因此质量块感受与传感器基座相同的振动，并受到与加速度方向相反的惯性力，此力F＝ma。同时惯性力作用在压电陶瓷片上产生电荷为 运动方向 2 1 3 4 5 纵向效应型加速度 传感器的截面图 （一）?? 压电式加速度传感器 其结构一般有纵向效应型、横向效应型和剪切效应型三种。纵向效应是最常见的,如图。压电陶瓷4和质量块2为环型，通过螺母3对质量块预先加载，使之压紧在压电陶瓷上。测量时将传感器基座5与被测对象牢牢地紧固在一起。输出信号由电极1引出。 q＝d33F＝d33ma 此式表明电荷量直接反映加速度大小。其灵敏度与压电材料压电系数和质量块质量有关。为了提高传感器灵敏度，一般选择压电系数大的压电陶瓷片。若增加质量块质量会影响被测振动，同时会降低振动系统的固有频率，因此一般不用增加质量办法来提高传感器灵敏度。此外用增加压电片数目和采用合理的连接方法也可提高传感器灵敏度。 （二）? 压电式压力传