基于弹性力学的应力加工方法有限元分析.docVIP

第22卷第2期强激光与粒子束Vo l.22,No.2 2010年2月H IGH POWER LASER AND PART ICLE BEAM S Feb,2010 文章编号: 1001-4322(20102-0361-04 基于弹性力学的应力加工方法有限元分析 孙天祥1,2, 杨 力1, 吴永前1, 雷柏平1, 万勇建1 (1.中国科学院光电技术研究所,成都610209; 2.中国科学院研究生院,北京100039 摘 要: 基于弹性力学理论,对应力加工方法的原理、算法及玻璃薄板对复杂面型的模拟进行了研究。 在球面镜周边分布力和力矩的状态下对球面变形为轴对称非球面进行了分析,以抛物面镜为例,采用有限元法 对玻璃薄板周边施加均布弯矩后产生的变形量和最大应力进行了模拟、分析和仿真计算,得出的仿真结果与球 面和抛物面之间的理想变形量进行比较,验证了基于弹性力学的应力加工方法加工旋转对称非球面理论的正 确性。 关键词: 光学加工; 应力加工方法; 弹性力学; 抛物面; 有限元法 中图分类号: T H74 文献标志码: A doi:10.3788/H PL P0361 大型光学系统中,采用非球面光学元件能改善光学系统的复杂性,减少尺寸和重量,有效提高光学系统性能,因此,研制高质量大口径的非球面光学元件对空间光学和天文光学的发展有重要的意义[1]。大口径非球面加工技术一直是先进光学制造领域研究的前沿课题,仍然面临很多挑战。对此,本文开展了以大型非球面应力加工(SMP方法为核心的相关先进光学制造技术的研究。SM P 把薄板弹性力学理论应用于抛光非球面光学元件,使光学元件具有可控变形的特点。根据加工中球面相对于待加工的非球面之间的偏离量,控制施加在球面边缘的作用力和力矩来实现变形量[2-3]。 1 应力加工方法的原理 Fig.1 Workin g prin ciple and frame of str ess ed mirror polishin g 图1 应力加工方法结构示意图 相对于经典加工固有的局限性和低加工效率,SMP 方法是基 于弹性力学理论新的非球面加工技术。其基本工作原理是先将玻 璃薄板磨成待加工非球面的最佳比较球面面形,根据弹性力学理 论计算出加在玻璃薄板边缘的力和力矩,使玻璃薄板产生变形,其 变形量正好与非球面和最佳球面之差相等,但符号相反。然后在 加有作用力的状态下将玻璃薄板再次抛光成球面,除去外加作用 力后,玻璃薄板恢复到自由状态,即得到所需的非球面面形。控制 均匀分布在玻璃薄板周边的6组施力结构,可以施加不同的力和 力矩在被加工件上,如图1所示。 由光学加工的经验可知,光学非球面偏离球面的程度相对有 限,属于小挠度变形,进而得出薄板的小挠度变形理论。也就是只 讨论这样的薄板,它虽然很薄,但它的挠度远远小于它的厚度,仍 然具有相当的弯曲刚度[4-5]。 由于要在玻璃周边施加作用力,必然要考虑玻璃的许用应力 的大小,如果超过玻璃的许用应力,会损害玻璃本身的物理性质甚 至玻璃破裂。 对于高质量的非球面镜的加工,应力加工方法迭代速度较快, 理论上精度仅限于最佳比较球面的抛光精度。第一次抛光后的非 球面与理想非球面间的差值较大,抛光后以完成的非球面和球面间的差值作为已完成的挠度,由理想挠度与已完成的挠度的差值 重新计算作用力和力矩,并施加到工件上来进行二次抛光或多次抛光,最终得到符合精度要求的非球面。*收稿日期:2008-10-18; 修订日期:2009-05-31 基金项目:国家自然科学基金项目者简介:孙天祥(1980,男,黑龙江人,主要从事非球面光学加工与检测;ioestx@ 。 完成的非球面和球面间的差值作为已完成的挠度,由理想挠度与已完成的挠度的差值重新计算作用力和力矩并施加到工件上来进行二次抛光或多次抛光,最终得到符合精度要求的非球面。 假设N为第一次抛光误差,d为理想变形,N n为经过n+1(n为抛光次数次抛光后的面形精度,则N U (N0/dn d,这里N0/d的值通常为10-2。一般通过2~3次抛光就可以收敛到期望的非球面。 2应力加工方法算法 根据玻璃材料的性质,完全满足弹性材料的均匀性、线性和完全弹性、各向同性及几何方面的假设,所以玻璃材料近似为弹性材料,即可以将基本的弹性力学分析原则用于玻璃薄板受力分析中,考虑小扰度变形的近似条件,将薄板问题简化成薄板中的平面问题,得到分析弹性薄板弯曲的解析方程[6-7] 54w 5x4+2 54w 52x52y+ 54w 54y= q(x,y EI (1 式中:E是弹性模量;EI=Eh3/12(1-v2是薄板的弯曲刚度,它只和薄板的厚度及薄板弹性系数有关,v是泊松比,h是薄板的厚度;q(x,y是横向载荷,w是薄板的变形量-挠度。这就是