集成电子薄膜与应用.pptVIP

应用领域： 基于介电非线性铁电薄膜的可变电容、介质移相器等可调微波器件，可应用于相控阵雷达T/R组件、智能射频前端、可调匹配网络等模块的相位延迟和调频元件，具有高响应速度、高品质因子、工作频率高、无功耗、可集成等优点 有效面积： 4*4 ~ 200*200 um2 安装尺寸： 1206 (3 X 1.5 mm) 电容值：2-100PF 　 九.功率电阻薄膜及应用 TaN薄膜特性 电阻温度系数-20ppm/℃≤TCR≤﹢20ppm/℃（-55~125℃） 集成薄膜方阻20Ω/sq≤Rsq≤150Ω/sq 薄膜功率电阻主要起阻抗匹配和系统保护的作用 （功率负载、衰减器、功分器等） 100W，DC-6.2GHz 300W，DC-1.5GHz 500W，DC-2GHz 800W，DC-1GHz 20W，DC-18GHz 5W，32-37GHz 　十.表声波ZnO多层膜及应用 压电薄膜层 金刚石层 硅衬底层 瑞利波 单晶压电材料v0一般小于4 km/s，金刚石多层薄膜结构则可以达到10 km/s以上 ZnO/金刚石/Si结构图 由材料的特性来决定 由IDT指条的宽度来决定 过小的线宽将会增加工艺难度，器件的承载功率也会降低 技术指标： 频率：2-3GHz(叉指宽度0.5-2.0?m可调），插损：10dB 应用领域： 移动与无绳电话系统、卫星通讯及定位（GPS）系统、通讯侦察压缩接收机、电子侦察用信道化接收机、导航系统等 　十一.体声波AlN薄膜及应用 AlN薄膜用途： 用于制备易集成、宽带、低损耗、承受大功率的小型化滤波器 特点： 高c轴取向，高机电耦合系数，低应力，低温制备，与IC工艺兼容 指标名称 性能指标 温度系数（ppm/℃） -20 声速（km/s） 11.8 厚度（μm） 2-3 表面粗糙度（nm） 5 晶粒尺寸（nm） 10 机电耦合系数（%） 1.6 表面阻抗（Ω） 110 薄膜体声波谐振器FBAR谐振单元 滤波器材料 应用情况： 研制的微波单片集成用滤波器材料用于制备易集成、宽带、降损耗、承受大功率的小型化可集成滤波器 使军用电子信息系统的小型可集成能力上一个台阶，有效地减小系统的体积，提高军用信息系统的安全性和可靠性 　十二.柔性应变敏感薄膜及应用 特点：柔性、高灵敏度 应用：应力/应变传感器、加速度传感器等 FeCoSiB/Cu/FeCoSiB /有机衬底 不同退火温度下CoFe2O4/TbFeCo/Si薄膜的XRD图谱 十三.CoFe2O4/TbFeCo/Si薄膜 800℃ 300℃ 400℃ 300℃ CoFe2O4/TbFeCo/Si薄膜微观结构和形貌 不同温度退火的CoFe2O4/TbFeCo/Si薄膜表面形貌 以及断面形貌 800℃ ～ 43nm 平行于膜面方向M、 S随退火温度变化的曲线 垂直于膜面方向M、 S随退火温度变化的曲线 CoFe2O4/TbFeCo/Si薄膜的磁性能 十四. CIGS太阳能薄膜电池 10W 20W 40W 70W 基于柔性薄膜太阳能电池的便携式充电器 小面积薄膜太阳能电池的I-V曲线， 效率为16% ■Cu: InGaSn薄膜及小面积太阳能电池 ■柔性薄膜太阳能电池及应用 ------柔性薄膜铜铟镓硒太阳能电池 关键技术 ——第三代薄膜太阳能电池 ——全印制薄膜关键技术 ——新型热电薄膜材料与器件 * ee * 在狭小、高温等复杂的工业控制领域，经常需要用到编码器对系统的运动状态加以检测和控制，而传统的光电编码器对环境要求较高，磁编码器的体积较大，满足不了应用的需求。奥地利增量型磁编码器IC解决了这一难题，由于其很小的体积，使控制系统更加简单，并使磁编码器在工业控制领域得到更广泛的使用。 输出电流经取样保持放大器放大，接着转换为电压信号，然后由一个8位模/数转换器ADC转换成数字信号。最后绝对角度的检测由集成在传感器阵列里面的逻辑电路计算得到。通过细小间距的传感器阵列和数字域信号处理技术，即可实现高分辨率、响应速度快、结构紧凑的CMOS旋转编码器 * 由图3-5可见随着自由层厚度的增加，自旋阀的GMR值由4nm时的1.89%增加到了6nm时的2.15%，而进一步增大自由层厚度，GMR值呈下降趋势，到15nm时GMR值减小到了1.5%。 * 自旋阀单条传感器是其他形式传感器制作的基础，为了在微细加工工艺上进行自旋阀传感器的制作，首先设计了自旋阀单条传感器的版图。在磁编码器磁头传感器的设计中，通常把磁阻条连接成差分或桥式电路形成差动输出，从而消除输出信号中的偶次分量。消除偶次谐波的基本原理图如图4-5所示，电阻R1与电阻R2两个桥臂相距λ/ 2，它们的相位差为π，基波在两个