VarianVS氦质谱检漏仪简介.pptVIP

外形尺寸 VS系列各型号产品详细配置 型号 配置 前级泵 抽速 PR02 Portable (Fully Integrated) Rotary Vane (DS-42) 02 m3/hr MR15 Mobile (2 –wheel cart) Rotary Vane (DS-302) 15 m3/hr BR15 Bench Mount Rotary Vane (DS-302) 15 m3/hr MD30 Mobile Dry Scroll (TS-620) 30 m3/hr BD30 Bench Mount Dry Scroll (TS-620) 30 m3/hr ? Comprehensive Service and Support plans 全面服务和支持方案。 ? Exchange units stock in the North America, Europe, Japan, Korea, and Greater China 在北美、欧洲、日本、韩国和大中华区有交换件的库存。 ? The Fastest Delivery to Customer Site 以最快速度发到客户处。 ? Customized Service Plans to meet OEMs needs 根据OEM的要求可定制服务方案。 GLOBAL AFTER SALES SUPPORT 全球售后服务 SERVICE 服务 售后服务与技术支持 专业的技术团队 备品备件的库存 On site training 备品备件库存 1、在上海、北京均有Spare parts作库存，当低于安全库存时，系统自动补足，确保客户检漏仪正常运行；有4台VS demo机，可给客户使用 2、如果遇到几率非常小的事情，比如配件无库存，国外工厂交货期2-4周 On site training: 1、装机时提供现场操作及检漏技术培训。可提供设备维护培训。 2、根据客户要求可提供现场真空技术及检漏应用再次培训 售后服务与技术支持 应用, 服务 技术支持程序 检漏仪培训程序 操作培训 维修培训 现场培训 世界范围的技术培训 Varian售后服务与技术支持 * * * * * * 备压检漏法通常也是根据合格品的各项参数而规定的标准化操作过程，将显示漏率S超过规定标准的被检产品视为不合格品。 备压件在腔体内释放等待期间，腔体与检漏仪是否隔离？用检漏仪对腔体抽气检测时是否得到的是本底He浓度？是否依据本底浓度的判断合格与否？ * * 瓦里安新型VS系列检漏仪产品介绍 可选中文操作界面 归零及自动归零功能 系统测试时，分流设定 无线遥控器（100米） 检漏数据记录专用软件 VS 新型检漏仪的主要优势 VS检漏仪的主要性能 1，最小可测漏率：5×10-12 Atm.cc/sec（=5×10-13 Pa.m3/sec）； 2，启测压强（最大前级耐压）：10 Torr (=1330 Pa)； 3, 双键操作，全中文操作界面， 大屏幕彩色触摸屏； 4，校准和操作方式：全自动,带温度自动补偿； 5，反应时间： 0.5 sec； 6，单位选择：atm cc/sec、mbar l/sec、Torr l/sec、Pa m3/sec； 7，背景扣除能力：每次下压2.5个量级，具有自动记忆功能； 8，检漏仪前级泵抽速：11.6 m3/hour （＝3.2 liter/sec）。 9，7种语言可以选择，包括中文 操作简便 只有两个操作按键 测试 放气 VS检漏仪的操作界面 高分辨率彩色触摸屏 彩色触摸屏 反应灵敏 宽视角 130o 中文操作界面 独有的“Auto Zero Zero”功能 自动补偿检漏仪内真空泵对He本底浓度的自然清空 避免了对小漏孔可能出现的漏检 本底追踪功能 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 随着时间推移系统的自然氦本底也在逐渐减低，当零点低于“Under”时，小漏可能会被漏检。为避免这一现象的出现 VS配备unique ZERO ZERO功能，每50 ms 进行一次零点调整。 背 景 扣 除 自 然 零 点 追 踪 功 能 VS检漏仪的创新功能-自动零点跟踪 0 5 10 15 20 25 10+3 10+1 10-1 10+2 10+0 10-2 10-3 Test Pressure (mbar) 10-7 10-8 10-6 10-9 10-11 10-10 10-5 Background Leak Rate (mbar*l/s) Initial “Zero” po